我国首款MEMS磁通门传感器在中国电科问世，技术水平跻身国际前列
2025年底，中国电子科技集团公司第九研究所（又称：西南应用磁学研究所，SIAM）在高灵敏度弱磁场探测领域取得重大突破，成功推出我国首款实现工程化应用的MEMS磁通门传感器。MEMS磁通门传感器凭借其高精度特性，能够检测极微弱的直流或低频磁场，广泛适用于弱磁信号采集、姿态控制、导航系统及电流监测等多个关键领域。
中国电科第九研究所位于四川绵阳，是我国唯一一家专注于磁技术应用的综合性科研机构，也是中央直属单位和国家核心磁性材料与器件的研发力量。该研究所长期承担国防电子系统中关键磁性元件和微波毫米波器件的研制与生产任务，是当前国内唯一覆盖永磁、旋磁与软磁材料及器件全领域的国家一类重点科研单位。其多项技术成果被广泛应用于海军、陆军、空军及航天领域的国防装备系统，是我国军工体系中的重要技术支柱。2016年，该研究所正式加入中电科重庆声光电磁子集团。
中国电科第九研究所研发的MEMS磁通门传感器
在MEMS磁通门传感器研发项目中，科研人员重点攻克了微型化集成、薄膜磁芯材料开发、先进制造工艺及测试优化等关键问题。依托研究所内部成熟的磁性微纳加工平台，并联合国内多家优势科研资源，团队通过多层光刻、梯度电镀、磁芯图案化设计与退火工艺的协同改进，完成了数十次工艺优化试验，成功突破了微米级磁芯定位精度和高可靠性铜柱结构制造等核心技术瓶颈。这些成果显著缩小了传感器体积（缩小50%以上），并大幅提升性能指标，为高性能磁芯的大规模生产奠定了基础，同时也促进了MEMS磁通门在“产学研用”链条上的深度融合发展。
通过采用MEMS技术，中国电科第九研究所实现了磁传感器核心组件的微型化制造，并掌握了从结构设计到材料合成的多项关键技术。首款工程化MEMS磁通门传感器的成功开发，显著改善了传统高精度矢量磁传感器在体积、能耗和集成度方面的不足，整体技术指标达到国际先进水平。
随着电子系统向集成化和智能化方向演进，中国电科第九研究所的科研团队将持续聚焦磁传感技术在各细分应用中的核心需求，推进专用接口芯片与智能算法等关键技术的突破，提供定制化的磁感知与探测整体解决方案，助力我国构建涵盖磁传感器材料、工艺、器件与应用的高端生态系统。