中国电科成功研发首款MEMS磁通门传感器，关键技术实现国际领先
2025年底，中国电子科技集团公司第九研究所（又称西南应用磁学研究所，SIAM）在高性能弱磁场传感领域取得突破性进展，成功开发出国内首款MEMS磁通门传感器工程化产品。这款新型传感器基于MEMS工艺，具备高灵敏度和强抗干扰能力，能够精准探测微弱的直流或低频磁场，广泛适用于弱磁探测、姿态测量与导航、电流监测等多个领域。
中国电科第九研究所位于四川绵阳，是国内唯一的综合性磁技术应用研究机构，隶属中央事业单位。该所长期承担国防电子装备中的磁性元件、微波毫米波器件等关键部件的研制任务，是唯一覆盖永磁、旋磁、软磁材料及器件全领域的国家一级重点科研单位。其研究成果广泛应用于海、陆、空及天基国防系统，是国防工业体系中不可或缺的重要力量。该研究所于2016年正式加入中电科重庆声光电磁子集团。
中国电科第九研究所研制的MEMS磁通门传感器
在项目推进过程中，研发团队聚焦于多个关键挑战，包括器件微型化集成、薄膜磁心材料开发、MEMS制造工艺优化以及系统级测试评估等。依托所内磁性微纳加工平台，团队联合国内优势资源，通过多重光刻与梯度电镀、磁心图形化设计及退火工艺协同优化等创新手段，完成了数十轮技术迭代，最终攻克了薄膜磁心微米级精确定位、高可靠性铜柱制备等核心难题。
此次成果将传感器尺寸缩小至原有一半以上，性能指标实现大幅跃升，推动高性能磁心材料的批量制造落地，促进了低噪声、微型化MEMS磁通门传感器在“产学研用”链条上的深度融合。
基于MEMS技术，中国电科第九研究所实现了磁传感器核心组件的微型化加工，突破了从材料制备到器件设计的多项关键技术，成功推出首款工程化MEMS磁通门传感器。该产品显著改善了传统高精度矢量磁传感器在体积、功耗与集成度方面的不足，整体技术水平已跻身国际先进之列。
展望未来，随着电子系统向集成化、智能化方向演进，中国电科第九研究所将持续深入各磁传感应用细分市场，聚焦专用接口芯片与智能算法等关键技术的研发，提供定制化的磁感知与探测解决方案，致力于构建我国高端磁传感器领域的材料、工艺、器件与应用协同发展的良性生态。