中国电科第九研究所发布首款国产MEMS磁通门传感器，技术水平跻身国际前列
2025年底，中国电子科技集团第九研究所（又称西南应用磁学研究所，SIAM）在高性能弱磁场探测领域取得重大突破，成功研发出国内首款实现工程化的MEMS磁通门传感器。作为高灵敏度磁场探测设备，该传感器可精准捕捉外部微弱的直流或低频磁场信号，广泛适用于弱磁探测、姿态测量与导航、电流监测等多个技术场景。
中国电科第九研究所坐落于四川省绵阳市，是国家级综合性磁技术研究机构。该所承担了国防领域关键磁性元器件及微波毫米波器件的研制与生产任务，是国内唯一覆盖永磁、旋磁、软磁材料及其器件全产业链的国家级重点科研单位。其技术成果和产品已深入应用于海、陆、空、天等国防系统，是我国军工科研体系中的重要支柱。2016年起，该研究所正式纳入中电科重庆声光电磁子集团管理体系。
中国电科第九研究所研制的MEMS磁通门传感器
在MEMS磁通门传感器项目启动初期，研发团队聚焦于微型化集成设计、薄膜磁心材料开发、先进MEMS制造工艺及测试优化等核心难点。依托所内磁性微纳加工平台，并联合国内优势科研资源，团队通过多重光刻与梯度电镀工艺、磁心结构图案化设计与退火优化等关键技术路径，经过多轮工艺迭代，成功解决了薄膜磁心微米级精确定位、超高厚度铜柱的高可靠性制备等难题。
该产品的问世不仅大幅缩小了传感器体积——尺寸缩减超过50%，也显著提升了整体性能指标，为高性能磁心材料的批量制造提供了坚实基础。同时，这一突破实现了低噪声、高集成度MEMS磁通门传感器在“产学研用”链条中的深度融合，标志着国产磁传感技术迈上新台阶。
此次研发中，中国电科第九研究所成功实现了磁传感器核心部件的微型化制造，攻克了从结构设计到材料制备等多项关键工艺难题，成功推出首款国产MEMS磁通门传感器工程化产品。该传感器有效应对了传统高精度矢量传感器在体积、功耗和集成度方面的瓶颈问题，整体技术指标达到国际先进水平。
面向未来，随着电子设备向集成化与智能化方向演进，中国电科第九研究所将持续聚焦磁传感技术在各细分应用领域中的核心需求，推动专用接口芯片、智能信号处理算法等关键技术的突破，提供定制化的磁感知与探测解决方案。通过构建高端磁传感器材料、工艺、器件及应用的完整生态体系，助力我国磁传感产业实现高质量发展。