中国电科发布国内首款MEMS磁通门传感器，技术水平跻身国际先进行列
2025年末，中国电子科技集团公司第九研究所（又称西南应用磁学研究所，SIAM）在高性能弱磁场传感器研发方面取得重大进展，成功推出国内首款MEMS磁通门传感器工程化产品。该传感器基于先进的MEMS技术，具备检测微弱直流或低频磁场的能力，适用于弱磁探测、姿态测量与导航、电流检测等多个应用领域。
中国电科第九研究所坐落于四川省绵阳市，是全国唯一的综合性磁应用技术研究机构。该所隶属于中央事业单位体系，专注于磁性材料与器件的核心能力研制，承担国防电子装备中关键磁性元件、微波毫米波器件等的开发与生产任务，是国内在永磁、旋磁、软磁等磁性材料及其器件领域最具综合实力的国家一类骨干研究所。其科研成果广泛应用于海、陆、空、天等国防技术装备中，是我国国防工业体系中不可或缺的重要科研力量。2016年，该研究所正式加入中电科重庆声光电磁子集团。
中国电科第九研究所研制的MEMS磁通门传感器。
在该项目启动初期，研发团队围绕微型化集成、薄膜磁心材料、MEMS制造工艺以及测试优化等关键难题展开攻关。依托研究所的磁性微纳工艺平台，并联合国内相关优势资源，团队通过多重光刻与梯度电镀技术、磁心图案化设计与退火工艺的协同优化，历经多次工艺迭代，逐步突破了薄膜磁心微米级定位、高可靠性厚铜柱制备等核心技术瓶颈。最终，传感器尺寸较传统方案缩小了50%以上，性能指标显著提升，为高性能磁心的大规模制造提供了坚实支撑，也推动了磁传感器在“产学研用”方面的深度融合发展。
通过MEMS技术，中国电科第九研究所实现了磁传感器核心部件的微型化加工，攻克了从器件设计到材料制备的多项关键技术，成功研制出具有自主知识产权的国产工程化MEMS磁通门传感器。该产品克服了传统高精度矢量传感器在体积、功耗与集成度方面的不足，整体技术水平达到国际先进水平。
未来，随着电子装备向集成化和智能化方向演进，中国电科第九研究所将聚焦磁传感在各细分领域的需求，推动专用接口芯片和智能算法等关键技术的突破，致力于提供定制化的磁感知与探测解决方案。同时，研究所还将加快构建高端磁传感器在材料、工艺、器件与应用层面的良性生态系统，助力我国传感器产业持续高质量发展。