MEMS微热板结构设计与仿真
王玫 ,王旭丹 ,姜利英
郑州轻工业大学
2024-11-03
微热板作为很多微机电系统(MEMS)传感器和执行器的基础结构,对器件性能影响极大,在气体传感器、燃料电池等领域都有着重要的应用。本文提出了几种悬浮式结构的微热板设计,并利用有限元分析方法(FEA),在气体传感器常用的工作温度400 ℃下,从热稳定性、机械稳定性、功耗和效率多方面对微热板进行了仿真,结果表明:螺旋形微热板的综合性能更好。进一步对可能影响微热板性能的多个因素, 如电极电压、支撑层厚度、微加热器线宽间距比等进行了优化,获得了综合性能最优的微热板图形及参数设计。
  • MEMS
被引用: 689次
年份: 2024年
下载文档 2.00元
引用
分享
来源期刊
内容目录
  • 引言

  • 1、悬浮式微热板设计

    • 1.1 微热板的工作原理

    • 1.2 微热板结构设计

    • 1.3 微加热器形状设计

  • 2、微热板性能分析

    • 2.1 微热板热场分析

    • 2.2 微热板应力分析

    • 2.3 微热板功耗分析

    • 2.4 微热板的综合性能分析

  • 3、螺旋形微热板参数优化

    • 3.1 电极电压优化

    • 3.2 支撑层厚度优化

    • 3.3 电极线宽间距比优化

  • 4、结论

核心点推荐
  • 微热板;有限元分析方法;MEMS传感器;气体传感器;低压化学气相沉积