中国电科成功研发首款MEMS磁通门传感器，技术实力跻身国际前沿
在2025年末，中国电子科技集团公司第九研究所——也称西南应用磁学研究所（SIAM）——在高性能弱磁场传感领域取得重大突破，成功研制出我国首款MEMS磁通门传感器工程化产品。这项成果标志着我国在微型化高精度磁传感技术上迈出了关键一步。
MEMS磁通门传感器属于高灵敏度磁场探测器件，能够精确检测微弱的直流或低频磁场，广泛应用于姿态测量、导航定位、电流检测以及弱磁探测等多个领域。
中国电科第九研究所：磁技术研究的核心力量
中国电科第九研究所位于四川省绵阳市，是国内唯一的综合性磁应用技术研究机构，也是国家磁性材料与器件核心能力的研制单位。该研究所长期承担国防电子装备中关键磁性元件和微波毫米波器件的研发生产任务，业务覆盖永磁、旋磁和软磁材料等多个专业方向，是国防工业体系中不可或缺的科研力量。
自2016年起，该所已正式纳入中电科重庆声光电磁子集团，进一步强化了其在磁技术领域的资源整合与创新能力。
上图展示的正是由中国电科第九研究所研发的MEMS磁通门传感器。
核心技术攻关推动产品性能跃升
在研发过程中，科研团队重点攻克了微型化集成、薄膜磁心材料开发、MEMS制造工艺优化及测试校准等关键难题。依托研究所自有的磁性微纳工艺平台，并联合国内优势科研资源，团队通过多重光刻、梯度电镀、磁心图案化设计与退火工艺的协同改进，完成了数十轮工艺迭代。
在这一过程中，科研人员突破了薄膜磁心微米级定位和高可靠性铜柱制备等核心工艺瓶颈，成功将传感器尺寸缩减超过50%，器件性能显著提升。该成果不仅推动了高性能磁心的大批量制造，还实现了从研发到应用的全链条贯通。
中国电科第九研究所通过MEMS技术实现了磁传感器核心部件的微型化加工，打破了传统高精度矢量传感器在体积、功耗和集成度方面的限制，所研制出的工程化产品性能达到国际先进水平。
面向未来：构建高端磁传感生态系统
随着电子装备向集成化、智能化方向持续演进，中国电科第九研究所正进一步聚焦磁传感应用各细分领域的需求，致力于突破专用接口芯片、智能算法等关键技术。
研究所计划通过提供定制化磁感知和探测解决方案，推动我国在高端磁传感器核心材料、制造工艺、器件设计与系统应用之间形成良性发展的生态系统。