中国电科成功研制首款MEMS磁通门传感器，技术水平跻身国际前列
在2025年末，中国电子科技集团公司第九研究所（又称西南应用磁学研究所，SIAM）在高性能弱磁场传感技术领域取得突破性成果，成功推出了国内首款工程化MEMS磁通门传感器。作为能够捕捉微弱直流或低频磁场的高精度传感器，MEMS磁通门在弱磁探测、姿态测量、导航系统及电流检测等多个应用领域展现出广泛前景。
中国电科第九研究所坐落于四川省绵阳市，是国内唯一一家综合性磁应用技术研究机构，也是国家重点支持的磁性材料及器件研制单位。研究所长期承担国防电子装备中关键磁性元器件、微波毫米波器件的研发与制造任务，覆盖永磁、旋磁和软磁等各类磁性材料及其器件，是国防工业体系中不可或缺的科研力量。2016年，该所正式纳入中电科重庆声光电磁子集团。
中国电科第九研究所研制的MEMS磁通门传感器。
在启动MEMS磁通门传感器研发项目之初，科研团队便聚焦于多个关键挑战，包括微型化集成、薄膜磁芯材料开发、MEMS制造工艺优化以及测试流程的完善。依托研究所先进的磁性微纳工艺平台，项目组整合国内磁传感领域的优势资源，通过多重光刻与梯度电镀工艺、磁芯图案化设计及退火处理等创新手段，经过数十轮工艺迭代，成功解决了薄膜磁芯的微米级定位、高可靠性的超厚铜柱制备等核心技术难题。
这些技术突破不仅显著缩小了MEMS磁通门传感器的尺寸，还大幅提升了其性能表现，推动了高性能磁芯的规模化生产。产品的微型化与低噪声特性，使其在“产学研用”协同创新方面实现了深度整合。
通过MEMS技术，中国电科第九研究所实现了磁传感器核心部件的微加工突破，在器件设计、材料制备等多个核心环节取得了实质性进展。所研制的首款MEMS磁通门工程化产品成功克服了传统高精度矢量传感器在体积、功耗和集成度方面的瓶颈，其整体性能已达到国际先进水平。
面向未来，随着电子系统集成化与智能化的发展趋势不断深化，中国电科第九研究所将继续深耕磁传感技术的应用需求，重点突破专用接口芯片与智能算法等关键环节，提供定制化的磁感知与探测解决方案，助力构建我国高端磁传感器从核心材料、制造工艺到器件应用的良性生态系统。