MEMS磁通门传感器有限元仿真方法
马朝祥 1, 吕 阳 2, 陆玲霞 1, 于 淼 1, 朱格民 1
1.浙江大学 电气工程学院,浙江 杭州 310027; 2.宁波中车时代传感技术有限公司,浙江 宁波 315021
2026-03-18
针对 MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。 通过采用非线性 JilesAtherton(JA)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。 并探究不同参数对传感器性能的影响。 结果显示:该仿真方法可有效反映各向异性磁芯材料对磁通门工作特性的影响,验证了激励电流、磁芯厚度和线圈截面积与传感器性能的关系,可为 MEMS场景下的磁通门传感器有限元仿真研究及实物制作提供有效参考。
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年份: 2026年
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  • 磁通门; 有限元仿真; MEMS; JilesAtherton模型