国内首款MEMS磁通门传感器在中电科九所问世，技术达国际领先水平
2025年岁末，中国电子科技集团公司第九研究所——西南应用磁学研究所（SIAM）在高性能弱磁场检测领域取得重大突破。该机构成功开发出我国首款工程化MEMS磁通门传感器。作为高精度磁场感知设备，MEMS磁通门能够捕捉微弱的直流或低频磁场，适用于弱磁探测、导航定位、电流测量等多个应用场景。
中国电科第九研究所坐落于四川省绵阳市，是国内唯一从事磁应用技术研究的综合性科研机构，也是国家重点磁性材料及器件研制单位。该所承担着国防电子装备领域关键磁性元器件和微波毫米波器件的研发与生产任务，具备永磁、旋磁、软磁材料及器件全链条研发能力，是军工体系中不可替代的技术支柱。2016年起，研究所正式加入中电科重庆声光电磁子集团。
中国电科第九研究所研发的MEMS磁通门传感器样品
在MEMS磁通门传感器项目中，研发团队聚焦于微型化集成、薄膜磁芯材料开发、MEMS加工工艺优化和系统测试等关键挑战。依托研究所自主构建的磁性微纳制造平台，并联合国内多家优势单位资源，团队通过多重光刻与梯度电镀工艺、磁芯图案化与热处理协同优化等技术路线，历经多轮工艺验证，逐步突破薄膜磁芯微米级定位、高可靠性铜柱制备等瓶颈。最终，器件尺寸缩减超过50%，性能指标实现显著提升，为高性能磁芯的规模化制造提供了坚实支撑。
通过MEMS技术的深入应用，九所实现了磁传感器核心组件的微型化制造，突破了从材料到器件设计的多项核心技术，成功开发出首款国产工程化MEMS磁通门传感器。该产品有效克服了传统高精度矢量磁传感器体积庞大、能耗高、集成度差等固有缺陷，整体技术水平达到国际先进。
展望未来发展，面对电子系统集成化和智能化的发展趋势，中国电科第九研究所将继续围绕磁传感领域的细分需求，深入探索专用接口芯片、智能感知算法等关键技术，提供定制化磁感知解决方案。此举将助力构建国产高端磁传感器从材料、工艺、器件到应用的完整生态系统，为行业高质量发展注入新动力。