先导科技集团50亿元半导体核心零部件项目在临港新片区启动建设
1月22日，在临港新片区元创科芯先导项目现场，2026年重点项目开工及投用仪式正式举行。上海元创科芯半导体科技有限公司，作为先导科技集团旗下的重要子公司，宣布其“半导体核心零部件及系统项目”正式动工。
该项目选址于临港新片区的东方芯港区域，总投资额高达50亿元，占地面积约108亩，总建筑面积达15万平方米。工程建设将聚焦于MEMS及半导体制造关键组件的开发与生产，包括质量流量控制器（MFC）、前驱体输送系统、定制化工艺方案、在线监测解决方案、陶瓷封装结构、特种电源模块以及真空处理系统等核心部件。从动工到投产预计耗时18个月，达产周期为3年，届时年产值有望达到93.5亿元。
作为母公司，先导科技集团在第一代到第四代半导体材料与器件领域均有深度布局，掌握了完整的半导体材料提纯与制造工艺，并获得业内主要企业的产品认证。
国家集成电路战略的重要支撑
该工程被列为国家集成电路产业战略配套项目和国产替代示范工程。项目建成之后，将直接为国内领先的晶圆制造厂和设备制造商提供关键部件支持，进一步增强半导体设备产业链的自主可控能力，推动行业整体技术水平的提升。