倍福助力半导体设备行业突破技术瓶颈,开启智能制造新篇章
随着电动汽车、人工智能和通信技术的迅猛发展,半导体芯片作为高科技产业的核心驱动力,其重要性日益凸显。而半导体设备作为芯片制造的关键基础,正逐渐成为全球科技竞争的战略高地。作为信息技术产业的重要支撑,半导体设备不仅决定了芯片制造的工艺水平,还直接影响国家的科技实力和产业链稳定性。
在这一关键时期,倍福基于 PC 的控制技术为半导体设备行业提供了覆盖全产业链的解决方案,从前端晶圆加工到后道工艺芯片封装,全方位助力中国半导体设备行业迈向新的发展阶段。
半导体行业的关键挑战
- 如何在摩尔定律持续推动的背景下,不断提升设备的精度与性能?
- 如何应对半导体设备技术路径日益多元化和差异化的发展趋势?
- 如何引导设备制造商由单机台创新逐步转向平台式系统创新?
倍福为半导体行业提供突破性解决方案
EtherCAT:高效、开放的全球通信标准
EtherCAT 是倍福开发的高速工业以太网技术。自 2003 年推出以来,该技术在速度和同步精度方面设立了新的行业标准,如今已被广泛应用于半导体制造领域。
- 提供高速且可靠的通信协议,适应复杂生产环境。
- 具备长期技术兼容性,保障系统可持续升级。
- 专为极端环境设计,确保设备在严苛条件下的稳定运行。
XPlanar 平面磁悬浮传输系统:晶圆运输的革新方案
倍福的 XPlanar 系统通过磁悬浮技术,实现了晶圆在设备间高效、无抖动的传输。其高动态性与灵活性为晶圆制造提供了前所未有的效率。
- 动子以最高 2 m/s 速度运行,实现无接触、无抖动输送。
- 模块化设计支持任意几何形状的传输路径。
- 摆脱传统固定工位限制,提升生产灵活性。
EtherCAT 插拔式 I/O 模块与测量模块:提升系统集成效率
倍福的 EtherCAT 插拔式模块覆盖了半导体制造中各类数据采集需求,适用于从低频测量到高频数据采集的多种场景。
- EJ 系列模块支持插拔式连接,简化安装并提升接线准确性。
- ELM 系列测量模块集成了高端传感功能,保障关键过程数据的采集精度。
- TwinCAT Scope 支持微秒级信号显示,满足高精度监测需求。
TwinSAFE:全集成式安全解决方案
倍福的 TwinSAFE 解决方案专为 EtherCAT 系统设计,打破传统安全系统与常规控制功能分离的局限,提供高度灵活的安全集成。
- 提供全面的软件工具,便于安全应用的部署与配置。
- 支持 Safety over EtherCAT,保障系统开放性和灵活性。
- 适用于各类应用场景,确保系统运行安全。
面向半导体行业的中央控制系统:模块化与多功能并重
基于 PC 的控制技术结合 TwinCAT 软件平台与 EtherCAT 通信系统,可实现从过程控制到机器人控制、安全监测及视觉集成的多功能自动化。
- 开放式架构支持灵活的系统扩展与定制。
- 强大的实时处理能力,确保所有控制任务高效运行。
- 通过高性能工业 PC 的灵活集成,实现系统的模块化升级。
倍福推动半导体设备智能化转型
通过开放架构、精准控制和创新产品,倍福不仅助力半导体设备企业突破技术瓶颈,更推动从单一设备升级到全产业链智能化转型。其解决方案为行业提供高可靠性、高速度与高精度的设备支持,正引领半导体制造迈向智能制造的新阶段。