新松半导体在SEMICON China 2026展出创新产品
2026年3月25日，SEMICON China 2026在上海新国际博览中心盛大开幕。作为全球半导体领域规模与影响力兼具的综合性盛会，该展会汇聚了技术、产业、市场、创新与投资等多个维度的前沿动态。新松半导体在本次展会上重点展示了其最新研发的真空直驱机械手。
新松展位吸引了大量与会者驻足参观。
在展会现场，新松展出的真空直驱机械手引发了广泛关注。这一产品是半导体制造工艺中关键的传输装置，能够有效应对真空腔体内晶圆自动化输送的技术瓶颈。该机械手采用直驱电机结构设计，有效降低了运行中的振动，从而确保运输过程的安全性、稳定性与可靠性。
产品具备高精度的重复定位能力、快速的传输节拍、灵敏的防撞保护机制以及AWC动态纠偏功能，并可根据用户需求灵活定制手臂长度与手指形式，适用于多种尺寸的晶圆搬运场景。
该设备已通过SEMI国际认证，广泛应用于PVD、CVD以及刻蚀等集成电路核心工艺设备，标志着国内企业在高端半导体装备领域实现技术突破，核心技术实现自主可控。
新松半导体总经理程龙与多位客户进行了深入交流。
来自多个国家的客户也前来参观新松展位，了解其产品技术与应用前景。
新松半导体设备有限公司简介
新松半导体设备有限公司专注于半导体晶圆传输设备的研发、生产、销售与技术服务。公司已成功开发出具备自主知识产权的自动化核心产品线，技术指标达到国际先进水平。其创新产品广泛应用于各类半导体工艺流程，为全球半导体设备供应商提供高效、可靠的自动化解决方案。
新松半导体的核心产品主要包括真空机械手和集束型设备，涵盖大气机械手、EFEM系统、真空机械手及真空传输平台等，广泛服务于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节，并覆盖硅片生产、晶圆加工、先进封装及测试等全链条制造流程。
SEMICON China 2026基本信息
时间：2026年3月25日-27日
地点：上海·新国际博览中心
展位号：N3·3243
关于沈阳新松机器人自动化股份有限公司
沈阳新松机器人自动化股份有限公司（Siasun）成立于2000年，隶属中国科学院，是一家以机器人技术为核心的高科技上市企业。作为中国机器人行业的领军者及国家机器人产业化基地，新松已构建完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案体系。
公司总部位于沈阳，并设有上海国际总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡等地建有产业园区。同时，新松积极拓展国际市场，已在韩国、新加坡、泰国、香港等地区设立多家控股子公司，拥有超过4000人的研发团队，形成了涵盖核心技术、关键零部件、核心产品及系统解决方案的完整产业链。
作为国内机器人产业的标杆企业，新松已实现百余项行业突破，成功研发出工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人及服务机器人五大系列百余种产品。这些产品广泛应用于智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备及智能交通等领域，助力企业构建十大产业方向。
截至目前，新松产品已出口至30多个国家和地区，为全球3000多家企业提供数字化升级服务。
依托新一代技术，如工业互联网、大数据、云计算与5G通信，新松积极推动机器人产业平台化发展，致力于打造融合创新链、产业链、金融链与人才链的生态系统。
聚焦核心技术，共享智能未来。