用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。在能够制造机器的这几家公司中，尤其以荷兰ASML技术最为先进，价格也最为高昂。
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用了将近30年的时间，荷兰光刻机巨头ASML（阿斯麦）终于要超过Applied Materials（美国应用材料公司），成为全球最大的半导体设备企业。据国外TIN调研公司主席Robert Castellano称，过去三年，应用材料在晶圆前端领域（WFE）的份额一直在往下掉。相反的是，EUV光刻机却被几大晶圆巨擘抢破头。
研究称，应用材料去年在半导体设备市场的份额是的19.2%，今年虽然微增到19.4%，但对手ASML却从去年的18%拔高到了21.6%。Castellano说：“基于2020年整个WFE市场5%的温和复苏和半导体制造商计划的资本支出，ASML将在2020年将其市场份额提高到22.8%，而应用材料将保持19.3%的份额。”
今年四季度，ASML预计交付8台EUV光刻机，平均每台价格达到了1.2亿欧元，折合人民币9.3亿元，堪称人类最昂贵的设备了。
延伸阅读：浅谈光刻机的技术难度
在航空工程和光刻机的发展中可以看到人类技术的最高水平，这是工业王冠的瑰宝。目前，中国的航空发动机已经取得了长足的进步。智能手机的核心组件是芯片，并且该芯片是使用光刻机制造的，因此其重要性不言而喻。
那么光刻机制造难度有多大？
其实，光刻机的技术难度在于“技术封锁”，一台顶级的光刻机关键设备来自于西方发达国家，美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等，是人类智慧集大成的产物，所以ASML曾说“即便给你们全套图纸，你们也造不出来”。
也有人表示，既然这样那我们就赶紧花高价去研发。光源相对好说，但分辨率、套刻精度就是制约其它厂商前进的脚步，是那些工程师几十年如一日调校出来的，正因为这样所以ASML才能吹牛，因为就算零件一样，你也未必能够实现它的精度。