先锋精科拟募资不超7.5亿元用于多个半导体关键零部件项目
3月3日晚间，先锋精科发布公告，披露其拟通过向不特定对象发行可转换公司债券的方式，募集资金不超过7.5亿元人民币。资金将用于建设多个半导体核心工艺相关项目，包括金属器件扩产、非金属材料器件研发生产、陶瓷静电吸盘开发，以及补充公司日常运营所需流动资金。
其中，半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目，将对公司现有的金属加热器产品线进行技术升级与产能提升。此举旨在契合下游客户在工艺节点不断演进的背景下，对高性能关键功能器件日益增长的需求。项目的实施将有助于企业完善产品矩阵，增强在半导体设备核心零部件市场的服务能力。
另一项重点投入为半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件的研发与生产建设项目。该项目聚焦于以陶瓷加热器为代表的非金属材料器件，意在拓展企业在非金属功能件领域的技术边界，强化其在半导体关键工艺部件方面的整体技术优势。此举不仅有助于加快核心器件的国产替代步伐，也有利于提升我国半导体产业链的整体安全系数。
陶瓷静电吸盘研发项目则聚焦于高附加值的静电吸盘及其配套组件。作为半导体设备中不可或缺的关键功能部件，静电吸盘在晶圆承载与定位方面扮演着重要角色。通过该项目的实施，先锋精科希望构建起更具壁垒的技术体系，为客户提供更高性能、更稳定的产品解决方案。
公司表示，此次拟实施的一系列募投项目，将推动其从传统金属零部件供应商向“金属与非金属材料+关键功能器件”协同发展的综合解决方案提供商转变。项目的落地有望缓解当前产能制约，进一步响应客户需求，并在半导体先进制程器件市场中提升企业整体竞争力。