珠海首条6英寸MEMS生产线正式通线
据《珠海特区报》报道，1月15日，云际芯光（珠海）微电子有限公司在珠海金湾区三灶镇定家湾片区举行MEMS芯片生产线通线仪式，标志着珠海市首条6英寸MEMS芯片产线正式投入运行。该项目总投资超过2.5亿元，从建设到全线贯通仅耗时约一年，创下行业“建设周期最短、通线速度最快”的纪录，填补了珠海在MEMS芯片制造领域的空白。
作为集研发、中试与量产于一体的综合性平台，该6英寸MEMS生产线配备了百级/千级洁净车间及关键工艺设备，涵盖光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合等核心制造工艺，具备规模化生产SMR滤波器、石英晶振等关键器件的能力。
云际芯光成立于2023年11月，专注于压电MEMS芯片的研发、设计与制造，构建了以SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振及高精度压力传感器为核心的产品矩阵。公司致力于打破国外在高端频率器件和传感器领域的长期垄断地位。截至目前，云际芯光已申请专利30余项，拥有完整的自主知识产权，并建立起从设计、工艺到封装测试的全流程研发体系。
企业相关负责人表示，云际芯光选择落户金湾区，得益于珠海市及金湾区在集成电路产业上的前瞻性布局与政策扶持。作为粤港澳大湾区的重要一环，金湾区近年来持续推进半导体产业链建设，但MEMS制造环节仍存在缺口。云际芯光的落地，不仅为自身提供了稳定的产能支撑，也将与本地的设计、封装及应用企业形成产业协同，推动珠海打造更具竞争力的特色半导体生态。
随着产线正式投产，云际芯光已与多家行业领先客户达成战略合作。其产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子及工业传感等关键领域。
展望未来，云际芯光将继续加大在压电MEMS技术领域的研发投入，推动更多高性能国产芯片走向市场，为国内半导体产业的自主化进程注入强大动能，也为珠海建设粤港澳大湾区半导体产业核心基地提供有力支撑。