珠海首条6英寸MEMS芯片产线正式通线
1月15日，珠海金湾区三灶镇定家湾片区举行了一场具有里程碑意义的仪式——云际芯光（珠海）微电子有限公司宣布其MEMS芯片生产线正式通线。这条总投资超过2.5亿元的6英寸产线，仅用约一年时间便完成从建设到通线的全流程闭环，创下了行业“建设周期最短、通线速度最快”的纪录，填补了珠海在MEMS芯片制造领域的一项空白。
作为一家集研发、中试与量产于一体的综合性平台，该产线配备了百级至千级洁净车间及全套关键制造设备，覆盖光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合等核心工艺环节。其具备SMR滤波器、石英晶振等关键器件的规模化生产能力，为国产MEMS器件的稳定供应提供了坚实基础。
聚焦压电MEMS，构建核心产品矩阵
成立于2023年11月的云际芯光，专注于压电MEMS芯片的开发、设计与制造，目前已构建起以SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振以及高精度压力传感器为核心的产品体系。公司致力于突破国外在高端频率器件和传感器领域长期存在的技术垄断。
截至目前，云际芯光已申报30余项专利，建立起涵盖设计、工艺、封装测试的完整研发与制造体系，拥有完整的自主知识产权。
金湾布局助力MEMS产业集聚
据云际芯光相关负责人介绍，公司选址金湾区，得益于珠海市及金湾区在集成电路产业方面的政策支持和战略布局。作为粤港澳大湾区的重要组成部分，金湾区近年来不断强化半导体产业链建设，但在MEMS制造环节此前仍存在空白。
此次产线的顺利投产，不仅为云际芯光提供了稳定的产能保障，也推动了本地设计、封装与应用企业之间的协同合作，为珠海打造更具竞争力的特色工艺半导体生态奠定了坚实基础。
目前，云际芯光已与多家行业领先客户达成战略合作，其产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子以及工业传感等关键领域，覆盖多场景的高性能需求。
持续投入研发，助推国产替代进程
随着产线的正式运行，云际芯光将持续深化压电MEMS技术的研发创新，推动更多高性能国产芯片进入市场。这不仅有助于提升中国半导体产业的自主化和高端化水平，也将为珠海建设成为粤港澳大湾区重要的半导体产业高地提供有力支撑。