露笑科技实现8英寸导电型碳化硅衬底技术突破

2026-01-22 21:19:07
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露笑科技实现8英寸导电型碳化硅衬底技术突破

合肥露笑半导体材料有限公司近期在8英寸导电型碳化硅(SiC)衬底的研发及产业化方面取得关键性进展。根据官方消息,该企业在碳化硅衬底制备领域实现了多项技术突破。

目前,露笑科技已全面掌握8英寸导电型碳化硅晶体的生长工艺,明确了各工艺参数之间的耦合机制,并成功生长出高品质晶体。晶体具备优异的结晶质量与稳定的晶型控制,从而保障了衬底在性能与一致性方面的优势。

在关键性能指标上,包括微管密度、表面粗糙度、位错密度以及电阻率的均匀性等,该企业的产品已达到甚至超越当前行业主流标准。特别是微管密度的显著降低,使其表面质量完全满足高端客户需求,为下游制造高性能、高可靠性碳化硅功率器件提供了坚实支撑。

与此同时,露笑科技位于合肥的生产基地一期项目已顺利进入量产阶段。公司正在加快推进二期扩建,重点围绕8英寸碳化硅衬底及其外延片的产线建设展开,目标是迅速提升产能,以应对新能源汽车、光伏、储能系统以及工业自动化等应用领域对高性能碳化硅材料日益增长的需求。

未来,露笑科技计划持续加大技术投入,进一步优化8英寸导电型碳化硅的制程工艺,并着手布局下一代碳化硅技术的研发方向,积极探索更大尺寸衬底的可行性,为推动宽禁带半导体材料的技术升级提供有力支撑。

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