倍福助力破解半导体设备瓶颈，推动智能制造转型
在电动汽车、人工智能与通信技术迅猛发展的背景下，半导体芯片已成为支撑高科技产业的核心力量。作为芯片制造不可或缺的基石，半导体设备正成为全球科技竞争的关键领域。这些设备不仅决定了芯片制造的工艺水平，也直接影响国家科技竞争力和产业安全。
倍福凭借其基于 PC 的控制技术，为半导体设备产业链提供了从晶圆加工到芯片封装的全流程控制解决方案，推动中国半导体设备行业迈向新一轮智能化变革。
当前半导体行业面临的挑战
- 如何在摩尔定律持续演进的背景下，进一步提升设备的精度与性能？
- 如何应对半导体设备技术路径日益多元化和差异化的趋势？
- 如何推动设备企业从单机创新向平台化创新转型？
EtherCAT：全球领先的工业通信标准
EtherCAT 是倍福推出的高速工业以太网技术。自 2003 年推出以来，该技术在速度与同步精度方面树立了行业新标准，目前已被广泛应用于半导体制造领域。
- 提供超高速、可靠的通信性能。
- 确保技术在长时间内持续兼容。
- 专为严苛工况设计，满足高精度控制需求。
XPlanar 平面磁悬浮传输系统：灵活精准的晶圆传输方案
倍福的 XPlanar 系统利用磁悬浮技术，实现了晶圆在多设备间无抖动、高动态的自由输送。
- 动子可在 2 m/s 速度下平稳运行。
- 平面模块可根据需求自由拼接，适应复杂几何结构。
- 摆脱传统固定工位的限制，实现高度灵活的零件传输。
高精度 I/O 与测量模块：满足多样化采集需求
倍福的 EtherCAT 插拔式 I/O 模块和测量模块，覆盖了从低频到高频的各种信号采集需求，适用于多种物理量的检测。
- EJ 系列 EtherCAT 模块：插拔式设计便于维护，减少错误接线风险。
- ELM 系列测量模块：集成于 EtherCAT 系统中，具备高可靠性。
- TwinCAT Scope：可视化工具，可精确捕捉微秒级信号。
TwinSAFE：集成式安全解决方案
倍福的 TwinSAFE 安全解决方案专为 EtherCAT 系统设计，打破了传统控制中“安全”与“非安全”功能分离的局限。
- 提供完整软件支持，便于实施定制化安全应用。
- 通过 Safety over EtherCAT 实现更高开放性与灵活性。
- 适用于各类应用场景的 TwinSAFE 逻辑组件。
中央控制平台：模块化与多功能集成
倍福基于 PC 的控制技术，结合 TwinCAT 软件平台与 EtherCAT 通信系统，实现了从过程控制到机器人技术的全面整合。
- 开放架构支持高度定制化与设计自由。
- 实时操作系统可高效处理所有控制任务。
- 灵活集成高性能工业 PC，适应多样化应用需求。
引领半导体智能制造新趋势
从技术瓶颈的突破到产业链的智能化重构，倍福正以开放架构、高精度控制与创新产品，助力半导体设备企业实现高速、高可靠和高精度的制造目标。其解决方案不仅推动了设备层面的升级，也为整个行业迈向智能制造奠定了坚实基础。