倍福助力半导体设备产业升级，推动智能制造转型
在电动汽车、人工智能和高速通信等前沿技术迅速发展的推动下，半导体芯片已成为现代高科技产业的核心引擎。半导体制造设备作为芯片生产的关键环节，正日益成为全球科技竞争的战略核心。此类设备不仅决定着芯片的制造精度和工艺水平，也直接影响国家在高科技产业链中的地位与安全。
在此背景下，倍福凭借其基于 PC 的控制技术，为半导体设备行业的上下游提供了完整的自动化解决方案，覆盖从晶圆加工到芯片封装的多个关键环节，助力中国半导体设备行业迈向智能化、高效化的发展新阶段。
当前半导体行业面临的挑战
- 在摩尔定律持续演进的过程中，设备必须适应更高的精度和性能要求。
- 技术突破路径呈现出多样性和差异化，对设备的适应能力提出更高挑战。
- 如何推动企业从单一设备创新向平台化系统创新转变，已成为行业发展的关键。
EtherCAT：全球领先的工业以太网技术
EtherCAT 是倍福开发的高速工业以太网协议，自 2003 年推出以来，凭借卓越的速度与同步性能，已成为半导体行业的通用标准。
- 具备超高通信效率和可靠性，适应严苛工业环境。
- 技术兼容性强，可长期适配多代设备。
- 专为高精度、高稳定性场景设计，广泛适用于精密控制。
XPlanar磁悬浮输送系统：晶圆处理新范式
倍福推出的 XPlanar 平面磁悬浮输送系统，为晶圆的搬运提供了全新解决方案。该系统基于磁悬浮原理，使生产部件能够在多个设备间自由移动，同时保持极高的动态性和稳定性。
- 动子可无抖动地以最高 2 m/s 速度运行。
- 平面模块支持任意几何拼接，提升系统灵活性。
- 摆脱传统固定工位限制，实现高效、自由的物料输送。
插拔式 EtherCAT 模块与测量技术：实现高效数据采集
倍福的 I/O 模块和测量系统广泛适用于各种数据采集需求，从毫秒级到微秒级的高速信号处理均能轻松应对，为大规模生产系统提供可靠支持。
- EJ 系列模块采用插拔式设计，简化布线并减少错误。
- ELM 系列测量模块集成了 EtherCAT 通信协议，适合关键参数监控。
- TwinCAT Scope 软件支持图形化实时信号分析。
TwinSAFE：集成化安全控制方案
倍福的 TwinSAFE 安全解决方案专为 EtherCAT 通信系统设计，打破了传统控制结构中“安全”与“非安全”功能分离的局限，提供灵活、可扩展的安全控制架构。
- 软件平台支持定制化安全应用开发。
- 通过 Safety over EtherCAT 实现开放性与高灵活性。
- 覆盖所有应用场景的 TwinSAFE 逻辑组件。
中央控制解决方案：模块化与多功能融合
倍福基于 PC 的控制架构利用高性能工业 PC 实现对过程控制、运动控制、HMI 集成、机器人控制、安全系统、测量技术以及物联网数据的统一管理。结合实时性强的 TwinCAT 平台和 EtherCAT 通信协议，为晶圆厂打造了高效、可扩展的自动化系统。
- 开放架构带来更高的设计自由度与定制化能力。
- 实时操作系统可自主处理多种控制任务。
- 工业 PC 选型灵活，便于根据不同需求进行性能扩展。
迈向智能制造新时代
从突破传统技术瓶颈到推动设备智能化重构，倍福正以其开放架构、高精度控制和创新产品组合，帮助半导体设备企业满足高速、高可靠性的生产需求。其解决方案不仅提升了设备性能，也为整个行业迈向智能制造打下坚实基础。