中国移动入主国产MEMS芯片产线，推动智能时代战略布局
近日，中国移动通过旗下两支产业基金——北京中移数字新经济产业基金合伙企业（有限合伙）与上海中移数字转型产业私募基金合伙企业（有限合伙），入股安徽华鑫微纳集成电路有限公司（以下简称“华鑫微纳”）。此次投资并非单纯的财务行为，而是涉及企业治理和战略资源的深度整合。
尽管具体投资金额和股权比例尚未对外披露，但从股权结构变动来看，芯的（上海）集成电路技术有限公司等六家原有股东已集体退出。此前，这些机构合计持有华鑫微纳约66.5859%的股份。此外，华鑫微纳多位高管职位发生调整，公司注册地址也有所变更。据通信行业媒体报道，中国移动已委派张伟担任华鑫微纳新任董事长。种种迹象表明，中国移动正逐步掌控这家专注于MEMS芯片代工的新兴企业。
作为中国三大电信运营商之首，中国移动在5G时代面临增长瓶颈，正通过产业资本运作和战略联盟，向具身智能、半导体芯片等前沿领域拓展。截至2025年7月，中国移动已在信息服务产业链投资超过500家企业，累计金额突破2000亿元，重点覆盖人工智能、卫星通信及低空经济等领域。
2025年下半年，中国移动具身智能产业创新中心联合多家机器人企业发起“具身智能产业合作计划”，并在同年12月，由其旗下链长基金独家注资亿元级别的国产触觉传感器初创企业戴盟机器人。
MEMS微纳智能传感器是未来智能时代的关键数据采集入口，广泛应用于具身智能和人形机器人领域。MEMS器件包括加速度计、麦克风、微马达、微泵、微振子、光学传感器、压力传感器、陀螺仪、湿度传感器、气体传感器等，以及集成产品。
在机器人技术中，MEMS传感器可提供姿态、位置、力、温度、气体等环境感知信息，是实现人机交互的核心组件。在通信领域，MEMS技术更是射频前端和光通信系统的重要支撑。例如，MEMS滤波器、开关和谐振器是5G/6G BAW滤波器制造的核心工艺。
光通信系统中，MEMS光开关具有高速响应和低损耗特性，是大容量光通信系统中的关键器件。2025年底，谷歌TPU系统凭借其AI推理能力引发行业关注，其背后依赖的OCS光路交换技术正基于MEMS微镜。
由此可见，MEMS技术贯穿了具身智能、机器人、光通信、射频芯片和AI芯片等多个前沿方向，这正是中国移动战略转型的重要支撑。
为何选择华鑫微纳？
华鑫微纳成立于2022年3月，总投资约50.6亿元，其MEMS芯片产线被纳入国家集成电路重大项目布局，是发改委、工信部及安徽省共同关注的重点工程。项目目标是通过掌握中高端MEMS器件的核心制造技术，推动国产替代。
华鑫微纳定位为8英寸MEMS智能传感器核心器件制造平台，融合硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成及2.5D/3D微系统技术，具备惯性传感器、光MEMS执行器（如微镜、激光雷达扫描镜）、环境传感器（压力、温度、气体、流量）等多元化产品线。
在自动化水平方面，华鑫微纳在国内处于领先。其8英寸晶圆产线部署了智慧能源、数字孪生和智能仓储系统，是国内首条采用全自动天车系统的晶圆产线，实现超90%的自动化率和近无人化生产。
项目自2023年3月破土动工，历时两年于2025年3月完成调试并实现首片晶圆下线。达产后预计月产能达1万片8英寸晶圆，计划于2027年提升至3万片。
技术优势与产品布局
华鑫微纳团队拥有超过21年的MEMS器件研发经验，以体硅工艺为基础，聚焦陀螺仪、加速度计、光MEMS微镜等高性能器件。体硅工艺是MEMS制造中技术成熟、应用广泛的核心工艺之一。
根据公司规划，华鑫微纳MEMS代工业务分为三类：第一类为成熟产品，如麦克风、环境传感器等，预计占据总产能的50%-60%；第二类为核心产品，涵盖汽车级、工业级传感器，是高利润来源，预计占比30%-40%；第三类为战略产品，包括压电MEMS喷墨打印头、微流控、CMUT超声波换能器等前沿器件，预计占比5%-10%。
华鑫微纳副总经理张胜兵指出，目前中国MEMS市场在麦克风、滤波器和消费级压力传感器三类产品上相对成熟，但在高性能压电器件、惯性传感器、微镜、喷墨打印头、时钟谐振器等中高端领域仍依赖进口。华鑫微纳团队在体硅工艺方面具备深厚积累，工艺水平可对标国际厂商，如TI、Silex、博世等，尤其在静电微镜等高端领域已展现出领先优势。
MEMS时代来临，中国移动布局未来
随着具身智能、机器人、AI和5G/6G技术的快速发展，MEMS技术正成为智能时代不可或缺的底层支撑。中国移动通过入主华鑫微纳，不仅补齐了在MEMS制造领域的短板，也为自身在未来智能生态中争取了关键一环。
在新一轮产业变革中，MEMS作为数据感知与交互的基础，正释放出巨大的发展空间。中国移动的此次布局，或将为其在智能时代的产业竞争中赢得先机。