上海微电子成功中标科技部光刻机采购项目
近日，中国政府采购网发布消息，上海微电子装备（集团）股份有限公司成功中标科技部步进扫描式光刻机采购项目，中标金额约为1.1亿元人民币，采购数量为一台。
本次中标设备型号为SSC800/10，其中“SSC”为首次披露的光刻机型号代号。该设备属于步进扫描式光刻机，适用于高精度微纳加工任务。
据悉，该项目早在11月7日已通过政府购买服务信息平台发布单一来源采购征求意见公示，招标预算为1.13亿元。根据专家论证意见，该项目采用单一来源采购方式主要基于技术特殊性及设备国产化需求。
从技术规格来看，中标设备具备高分辨率光学成像能力，分辨率可达110nm以下，套刻精度≤15nm。这一性能指标表明该光刻机能够满足微米乃至亚微米级结构的高均匀性与高稳定性加工需求，广泛适用于先进封装、异构集成等制造场景。
上海微电子装备有限公司隶属于上海电气集团，自2009年起已逐步实现多款先进封装光刻机的交付。2018年，公司宣布其90nm光刻机项目正式通过验收，标志着国产光刻设备迈入更高技术层级。
2021年9月，该公司推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机，重点面向高密度异构集成领域。2022年2月，公司完成首台2.5D/3D先进封装光刻机的交付，标志着中国在该细分领域取得实质性突破。
2024年5月，上海微电子进一步宣布实现90nm ArF光刻机的量产，为国内半导体设备产业链的自主可控提供了关键支撑。