SK海力士携手东进半导体推进EUV光刻胶研发

2025-12-10
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SK海力士携手东进半导体推进EUV光刻胶研发

韩国媒体近日透露,SK海力士正与东进世美肯(Dongjin Semichem)展开合作,共同研发高性能EUV光刻胶。此举旨在推动这一关键半导体材料的本土化生产,减少对日本供应商的依赖。

知情人士指出,SK海力士对材料性能提出了更高要求,特别是在光刻胶的光敏性(Sensitivity)方面,希望通过优化该参数提升芯片制造过程中的工艺效率。

尽管SK海力士未正式回应相关细节,但公司方面确认正在与多家材料供应商合作,持续推动相关技术改进。其表示,具体的研发内容属于商业机密,不便公开。

资料显示,SK海力士曾在2023年借助旗下子公司SK Materials Performance完成部分EUV光刻胶的国产化,但产品主要集中在低规格应用领域。

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