欧洲后2nm中试线NanoIC正式启动,总投资达25亿欧元
比利时知名半导体研发机构imec于2月9日宣布,其主导建设的后2nm先进制程中试线NanoIC已正式启动。
该项目总投资额高达25亿欧元,按当前汇率折合约206亿元人民币。资金来源包括欧盟的7亿欧元资助,各成员国和地区政府的7亿欧元投入,以及来自ASML等关键产业伙伴的11亿欧元共同注资。
NanoIC的核心目标是推动2nm以下工艺节点的芯片设计与制造技术发展。该中试线配备了ASML提供的下一代高数值孔径极紫外光刻(High-NA EUV)设备,致力于缩短从研究实验室到量产晶圆厂之间的技术转化周期。
未来,imec的研究团队将与包括IDM、晶圆代工厂、设备与材料供应商、系统集成商、初创公司、高校及欧洲其他科研机构在内的多方合作伙伴,共同在NanoIC平台上推进先进制程的研发与验证。