创新工艺助力超薄柔性温度传感器突破技术瓶颈
由中国科学院新疆理化技术研究所孔雯雯研究员领衔的科研团队，近期在柔性传感领域取得重要进展。该团队通过引入“水溶性牺牲层辅助转移”新工艺，成功解决了高性能敏感材料与柔性基底之间的工艺兼容性难题，研制出厚度仅为40微米的超薄柔性温度传感器。该成果已发表于《ACS应用材料与界面》。
这项技术的创新点在于将敏感材料所需的高温制备过程与柔性基底上的器件集成分步进行。通过这种工艺分离策略，研究人员在保证材料必须的高温退火条件下，有效规避了柔性基底在高温环境中易受损的问题，为无机敏感材料与柔性衬底的高效集成提供了新的解决方案。
在界面设计方面，科研人员结合有限元模拟与实验验证，开发出GeO2/Ta2O5/MCO异质结构界面。该结构能够主动调控界面性能，显著抑制元素扩散和热应力失配，从而提升器件的结构稳定性和长期可靠性。实验结果显示，该传感器在反复弯折及热冲击条件下依然保持稳定工作，表现出良好的机械耐用性。
在性能指标方面，该超薄柔性温度传感器展现了出色的综合表现。其电阻温度系数（TCR）达到-4.1%/℃，响应速度仅需192毫秒，充分满足高灵敏度与快速响应的实际应用需求。
研究人员认为，这项成果不仅推动了超薄柔性温度传感器的性能提升，也为电子皮肤、可穿戴智能设备等柔性感知系统的进一步发展奠定了关键的技术基础。