2025年底刻蚀设备采购观察：12月国产中标项目占比逾九成
2025年12月，国内高校和科研机构陆续发布了刻蚀设备的中标公告，反映出半导体制造、微纳加工及材料科学研究领域对先进设备的持续强劲需求。从公开信息来看，北方华创、埃德万斯、SHL（三和联）等国内厂商表现活跃，所涉及设备涵盖从教学基础实验到高端科研应用的多种刻蚀工艺。
采购主体以高校及科研单位为主导
本月的中标单位包括南京邮电大学、上海交通大学、北京理工大学、华中科技大学、浙江大学以及中国科学院下属研究所等。这些单位采购的刻蚀设备主要用于材料科学、集成电路设计与制造、光学工程等方向的实验平台搭建和科研项目支撑。
国产设备品牌持续发力
在统计的29项公开中标项目中，有27项由国产设备厂商中标，占比超过90%，显示出国产品牌在该细分市场的主导地位。这一趋势的背后，一方面是国产设备在技术性能、稳定性与成本控制方面不断进步，另一方面也与部分科研项目的采购政策有关，部分项目在招标中明确规定“不接受进口设备投标”。进口品牌仅在2个项目中中标，主要集中在单价较高或具备独特技术优势的设备领域。
北方华创在本次采购中表现突出，共获得11项中标，覆盖深硅刻蚀、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）、反应离子刻蚀（RIE）、原子层刻蚀（ALE）等多种工艺，占据高校与科研市场的显著份额。埃德万斯则在离子束刻蚀领域获得多所高校订单，反映出其在高端刻蚀设备市场的认可度逐步上升。
此外，SHL（三和联）、金俊虹、博顿光电、芯微诺达、东信高科等专业厂商分别在RIE、基础等离子体刻蚀、湿法刻蚀等应用方向获得采购订单，共同构建了国产刻蚀设备较为完整的供应链体系。
进口设备主要由ThermoFisher和SENTECH中标，集中在高单价设备以及具备独特工艺集成能力的利基市场。
大额订单凸显高端设备需求
在所有中标项目中，由“zycgz107080”采购的北方华创PSEV300Gi多腔深硅刻蚀机以总价9436万元（2台）位居榜首，单台设备价值约4718万元。该设备主要用于高端集成电路与MEMS制造中的深硅刻蚀工艺，体现了市场对高性能、高产能刻蚀系统的重视。
此外，太原理工大学采购的Talos F200S G2原位刻蚀与微纳结构加工分析仪（558万元）、北京理工大学的感应耦合等离子体刻蚀机（369万元）以及北京科技大学采购的三套ICP刻蚀系统（685万元）等，也显示出在材料在线分析、工艺集成等方面的高强度投入。
国产设备实现全谱系覆盖
从整体采购数据来看，国产刻蚀设备已经实现从教学实验设备到科研级高端设备（如多腔深硅刻蚀机、ALE系统）的全覆盖，并在订单数量和金额方面占据主导地位。进口设备则凭借在尖端分析技术与复杂工艺集成方面的积累，在高附加值市场仍保有一定的市场份额。