国际首次:8英寸垂直布里奇曼法氧化镓单晶成功制备
12月27日,上海科技官微发布消息,中国科学院上海光机所联合杭州富加镓业科技有限公司,在上海市科委第四代半导体战略前沿专项的支持下,首次在国际范围内采用垂直布里奇曼法(VB法)成功制备出8英寸氧化镓单晶。这一成果标志着该领域在关键材料制备技术上迈出了重要一步。
作为国内较早开展氧化镓晶体研究的科研机构,上海光机所在VB法晶体生长方面持续投入研发,重点突破关键装备制造、高精度模拟仿真以及确定性热场设计等核心技术。从2024年7月开始,该团队在国内首次实现3英寸氧化镓单晶的制备,并在同年12月将尺寸提升至4英寸。此后,研究进展持续加速,2025年9月成功制备出6英寸晶体,并在2025年12月将尺寸扩大至8英寸,刷新了国际上采用VB法制备氧化镓晶体的尺寸纪录。
相较于传统的晶体生长方法,垂直布里奇曼法在氧化镓材料的可扩展性、晶体质量控制以及工艺稳定性方面具有明显优势,被认为是推动该材料大规模产业化的可行路径。未来,上海光机所与富加镓业将协同下游应用单位,加快器件端对材料性能的验证工作,进一步优化材料性能和器件结构,全面推动氧化镓材料在光电子、功率电子等高端制造领域的产业化应用。