中科飞测推出首款国产电子束关键尺寸量测设备，突破高端芯片制造瓶颈
2025年12月26日，国内半导体检测设备领先企业中科飞测正式发布了其首款电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）——MAGNOLIAEBM-600。这款设备的问世，标志着我国在高端半导体量测领域实现了关键性技术突破，为实现产业链关键环节的技术自主与安全可控注入了新的动力。
技术亮点：对标国际水平
这款CD-SEM设备专为1Xnm级先进逻辑芯片与存储器制造中的关键工艺节点设计，可广泛应用于光刻、刻蚀等核心工艺过程中的关键尺寸监控。其在分辨率、成像速度、测量精度及稳定性等核心性能指标上已达到甚至超越国际同类产品，展现出强劲的国产替代潜力。
产业意义：打破高端设备进口依赖
长期以来，高端电子束量测设备因其对芯片良率和性能的决定性影响，被视为“卡脖子”技术，严重依赖国外进口。为打破这一局面，中科飞测汇聚了技术骨干，组建了专业的研发团队，针对1Xnm先进制程中面临的高精度测量、高一致性、光刻胶损伤控制及三维结构表征等难题，展开了多年攻关。
最终推出的MAGNOLIAEBM-600不仅满足了客户对高分辨率、高速成像、低机差及长期稳定性的严苛要求，还在提高生产效率、降低整体制造成本方面展现出显著优势。
战略部署：构建完整良率管理解决方案
此次发布的电子束关键尺寸量测设备是中科飞测在前道量测领域布局的重要一环，填补了其在电子束细分市场的空白。该设备可与中科飞测现有的光学量测产品线形成互补，共同构建覆盖先进逻辑与存储芯片制造全流程的良率管理解决方案，为客户提供更全面、更高效的一站式服务。
MAGNOLIAEBM-600
来源：中科飞测