国内第一条12英寸MEMS智能传感器芯片产线首批晶圆下线!良率99.7%!

2024-10-08 20:56:51
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9月29日,广州市政府新闻办召开新闻发布会,介绍智能传感器高质量发展相关情况。


传感器作为物联网的基石,是实现万物互联的关键技术之一。最新批复的《广州市国土空间总体规划(2021—2035年)》中赋予了广州市“全国先进制造业基地”的功能定位,物联网、智能传感器产业是未来夯实广州先进制造业发展的重要一环。广州市将通过省市政策组合拳打造物联网及智能传感器产业发展高地,且目前相关产业发展已初见成效。


增芯项目已建成国内第一条12英寸智能传感器及特色工艺晶圆制造产线


省市协调发力,助力相关产业高质量发展


广东省委、省政府高度重视加快推动广州市智能传感器、光芯片及物联网产业高质量发展,多次围绕传感器产业进行研究部署,支持广州聚焦发展智能传感器和成熟特色工艺,全力推进广东传感器产业发展。广州也将通过出政策、搭平台、建体系、优服务,全力推动产业高质量发展,打造物联网及智能传感器产业发展高地。


9月24日,广东省工业和信息化厅、广州市人民政府联合印发了《关于支持广州市智能传感器产业高质量发展的若干措施》。广州市也先后出台了《广州市推动物联网产业高质量发展行动计划(2024—2028年)》、《广州(增城)智能传感器产业园发展规划(2024-2035)》等相关规划文件,将推动打造具有国际竞争力的物联网技术创新策源地、物联网产业发展高地、物联网创新应用示范地、智能物联网之城。规划建设高端、高质、高新的广州(增城)智能传感器产业园,聚焦MEMS特色工艺核心优势,着力打造产业生态齐全、集聚效应明显、产业能级高端的大湾区智能传感器产业集聚区,助力加快建设制造强省。


广东省科技厅支持广州市有条件的企业联合省内高校、科研机构组建创新联合体,开展传感器产品及其上下游产业链核心技术攻关;启动“芯片设计与制造”战略专项新一轮的指南编制工作,重点关注智能传感器方向。广东省政数局全力推进开源鸿蒙生态建设、技术试点应用,激发市场主体活力、推进智慧城市应用示范,为广州物联网产业创新和升级、进一步推动经济高质量发展提供有力支撑保障。


产业加速布局,多项目已落地投产


在物联网领域,广州以番禺、海珠、增城、黄埔为主战场,聚焦数字城市、智能制造、智能网联汽车、智能家居等领域率先应用,加快推进智能传感器省级特色产业园等平台建设,全市累计建成5G基站超10万座,部署了华南唯一国际IPv6根服务器,建成了华南唯一的工业互联网标识解析国家顶级节点,初步形成了“上游-感知识别、中游-网络传输、下游-平台及应用服务”的物联网全产业链体系。


在半导体与集成电路领域,广州初步形成了以黄埔为核心,南沙、增城为两极的“一核两极多点”产业布局,拥有泰斗微电子、高云半导体、安凯微、慧智微、广芯封装、兴森快捷、新锐光掩模等行业领先企业,粤芯、增芯、芯粤能、芯聚能等项目持续强化“广东强芯”广州特色。


增城区边规划边建设智能传感器产业园,目前已引进产业项目21个、总投资681亿元,预计年产值/营收超400亿元。接下来将聚焦智能传感器产业发展,加快引进全产业链项目,预计到2030年累计集聚产业生态重点企业100家,产业规模超600亿元;到2035年,智能传感器生态企业达到500家以上,形成千亿级智能传感器产业集群。


据悉,增芯在广州市增城区(广州东部中心)已建成国内第一条12英寸智能传感器及特色工艺晶圆制造产线,规划月产能2万片。该项目自今年6月28日启动通线投产以来,设备调试、良率提升等各项工作进展顺利;8月10日首批产品下线良率99.7%,已通过168小时高温可靠性测试,满足量产标准。截至目前,已下线1000片晶圆,正在进行1000小时可靠性测试。下一步将正式量产,预计2024年产品按客户订单下线10000片。


近年,增芯科技将基于55-130nm制程,建设三大产品和工艺平台,实现“10月首批MEMS智能传感器产品下线,全年下线产品1万片”的战略目标。具体包括:


——MEMS智能传感器平台,规划月产能1.2万片。压力传感器产线设备正在安装调试阶段和短流程结构器件测试中,计划四季度通线;


——模拟芯片平台,规划月产能5000片。模拟平台和MEMS平台产能80%公用设备可共享及转换,目前已完成装机产能5000片/月;


——ASIC模数芯片,包括HV和55logic两个工艺平台,已经投入短流程研发,目前装机产能3000片/月,计划年底完成全部设备安装调试。


2025年,增芯的工作重心在于产能爬坡、质量控制和产品交付、市场开拓,计划2025年底达成月产2万片目标。


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