MEMS 惯性传感器研究现状与发展趋势

亚德诺半导体 iSensor® MEMS 惯性测量单元(IMU)传感器由精度陀螺仪、加速度计、磁强计和压力传感器多轴组合而成。亚德诺半导体技术即使在高度复杂的应用和不断变化的情况下也能有效检测和处理多种自由度。iSensor MEMS IMU 传感器是即插即用的解决方案，提供了整套厂家校准、嵌入式补偿&传感器处理，和一个简易可编程接口。

3DM-GX3®-25-OEM是一种利用MEMS传感器技术的高性能微型姿态航向参考系统（AHRS）。它结合了三轴加速度计、三轴陀螺仪、三轴磁强计、温度传感器和运行精密传感器融合算法以提供静态和动态定向以及惯性测量的车载处理器。它的外形非常适合OEM应用。

FH413A05 MEMS三轴加速度传感器由我公司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用低功耗、高精度、低噪声MEMS芯片，具有 BIMOS 信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺技术。具有低功耗、高可靠性和高封装坚固性，并具自检测（Self-Test）等功能，可实现自检测。本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。

PA-ARG-01D单轴数字陀螺仪是基于MEMS技术的固态惯性传感器，经过滤波、 温漂补偿、非线性校准、安装误差补偿等技术可准确地测量空间坐标系中的角速率，具有高可靠性和高封装坚固性。

First Sensor拥有一个高度创新的技术平台，用于制造用于地球工程、状态监测或导航应用的高精度惯性传感器。MEMS传感器允许灵活定制，以满足您的个性化应用需求。，电容式测斜仪和加速度计基于单晶硅传感器元件，并利用最先进的微加工技术，以实现大信噪比和卓越的温度稳定性。因此，它们能够探测到极微小的倾斜或加速度变化。由于高宽高比微结构（harm），传感器具有超低的交叉轴灵敏度。此外，获得专利的高柔性AIM（气隙绝缘微结构）技术最大限度地减少了寄生电容。

MSU301惯性测量模块是一款高可靠、高性价比的六轴MEMS惯性传感器，可广泛用于以车、船、无人机为代表的导航、控制和测量等领域。先进的工艺和技术 MSU301 MEMS惯性测量单元在独立结构内集成了高性能的MEMS陀螺仪以及MEMS加速度计，系统选用的陀螺仪和加速度计均代表MEMS工艺惯性器件的领先水平。三轴MEMS陀螺仪敏感载体的角运动，三轴MEMS加速度计敏感载体的线加速度，系统内部进行了全温度参数的零位、标度因数、非正交误差和与加速度有关项的补偿，可以长时间保持较高的测量精度。

GNS220是一款高性能MEMS双天线组合导航系统，采用先进的惯性测量单元(IMU)与该产品创新性地采用了GNSS/INS紧组合导航算法，基于自适应卡尔曼滤波架构构建误差全球导航卫星系统(GNSS)深耦合技术该系统通过多传感器数据融蛤算法，实时解算载体的补偿模型，实现了系统误差参数和IMU器件误差的实时估计与闭环修正，有效抑制了惯性传感三维姿态角、航向角、速度、位置等导航参数，并同步输出三轴角速率及三轴加速度信息

MEMS 电容式加速度传感器和振动环技术可作为 6 个自由度系统 ASG 模拟惯性测量单元是基于在单外壳中集成的三台加速度传感器和 三台陀螺仪。模块化概念允许调整所有 IMU，以适应应用的确切要求。两种不同的加速度传感器系列(低噪和中频)可用，且可选择并结合 加速度传感器和陀螺仪的最佳测量。微机械硅结构的设计使 IMU 对外 部冲击和振动极其敏感。因此，它们非常适合在恶劣的环境条件下使 用。低噪(LN)加速度传 感器具有优异的噪声性能( 7-50 μg/√Hz)，而中频(MF)加速度传 感器提供了宽频响应，范围为 0-4.5 kHz(±3 dB)。

Honeywell 6-D运动变体6DF（六自由度）惯性测量单元（IMU）传感器的设计目的是在六个自由度范围内从耐用的单一设备提供运动、位置和导航传感。这是通过使用MEMS（微电子机械系统）技术来感知三个垂直轴（纵荡、垂荡、摇摆）的平移运动和围绕三个垂直轴（横摇、俯仰、偏航）的旋转运动来实现的。

由于高端MEMS传感器的大量选择、先进的校准程序和强大的算法设计；Ekinox系列在一个紧凑且价格实惠的软件包中达到了战术级（0.05°姿态精度），Marine，Ekinox-a是一个强大且经济高效的解决方案，用于船舶运动监测、浮标、遥控潜水器、声纳、激光雷达，摄像机运动补偿等。该运动传感器基于位置和速度计算来计算增强的垂荡，并且由于双天线GPS输入，即使在转弯时也具有鲁棒的航向。Ekinox传感器兼容所有水文软件（Hypack、QPS、Teledyne PDS等）。，陆地，低延迟（