传感器热点(2020.06.30):新型光刻技术解决硅材料脆性难题

研究团队开发了一套特殊光刻技术。首先使用等离子体气体刻蚀硅表面无光刻胶保护的区域,从而获得所需的结构——微型硅柱。然后在接下来的工艺步骤中,硅柱表面被氧化,氧化层厚度小于100 nm,再用氟化氢(HF)完全去除氧化层,完成表面清洁。

  传感新品

  【瑞萨电子最新推出高精度电感式位置传感器】

  近日,全球领先的半导体解决方案供应商瑞萨电子集团宣布推出无磁铁IPS2200电感式位置传感器。IPS2200具有高精度、高速度,并可完全免疫杂散磁场干扰,能够在超薄、轻巧的产品外形中实现与电机的高效集成,是广泛适用于各种工业、医疗和机器人应用中的绝对位置传感器。该传感器能够帮助客户经济高效地针对其应用定制传感器设计,并最大限度提升传感器精度。

  【首款用于ML的集成AI传感器板】

  Eta Compute推出了世界上第一个集成的超低功耗AI传感器板——ECM3532 AI传感器板。

  该板是专门为边缘机器学习而设计的,它使用Eta的TENSAI SoC缩短了智能传感器开发的初始阶段,包括可行性,概念验证和板设计,从几个月缩短到了几周。ECM3532 AI传感器板是在IoT和低功耗边缘设备中实现机器学习应用的最佳选择。

  该板嵌入了两个PDM麦克风,一个压力和温度传感器以及一个6轴MEMS加速度计和陀螺仪,并且体积小巧(1.4英寸x 1.4英寸)。蓝牙低功耗解决方案专家ABOV Semiconductor提供嵌入式电池插槽和与A31R118的蓝牙连接。必要时,该板的扩展连接器可简化其他RF接口的添加。

  【Allegro推出世界上最精确的400 KHz电流传感器IC】

  运动控制和节能系统电源和传感解决方案的全球领导厂商Allegro宣布推出 ACS37002 系列高级霍尔效应电流传感器,新产品能够支持高达 180A 的电流和 400kHz 的带宽,同时具有低失调电压,并且在整个 -40~150℃汽车温度范围内的典型总精度优于 1%。新产品的高速运行能力使客户可以选择更高开关频率,同时能够支持更高效率的 SiC 和 GaN 开关平台。

  ACS37002 非常适合于要求苛刻的绿色能源工业和电动汽车等应用,其中包括:太阳能逆变器;车载充电器功率因数校正;DC/DC 转换器环路控制;各种电动车辆高压逆变器。

  【德国Packwise推出基于雷达传感器的液位测量解决方案】

  Packwise 公司是一款移动设备Smart Cap.Smart Cap可收集位置,料位,运动,倾斜和温度等高精度传感器数据。但Smart Cap需要在苛刻的化学和食品行业条件下使用,这给传感器带来严格的限制和要求。

  针对此,Smart Cap选择Acconeer的PCR雷达传感器A111,用于测量液位。PCR雷达传感器A111的低能耗提高了电池寿命,且其尺寸小,无需改到外壳结构。借助雷达技术,Smart Cap传感器无需接触腐蚀性化学物质或超敏感液体,即可进行液位测量。不管是高温/低温或者潮湿等环境,测量结果仍可保持高精度。

  借助Packwise的系统,客户可以优化其供应链和物流管理,更好地跟踪集装箱和路线,实现防盗保护和可追溯性。

  传感财经

  【60亿元富能功率半导体项目预计本月建成,年底投片生产】

  据济南市人民政府办公厅发布2020年度市级重点项目名单,富能功率半导体项目规划建设月产10万片的两座8英寸厂及一座月产5万片的12英寸厂,一期总投资金额约人民币60亿元,主要建设月产3万片的8英寸硅基功率元件产能和月产1000片的6英寸碳化硅(SiC)功率元件产能,应用领域包括消费、工业、电网以及新能源车等。项目投产后预计年产量48万片,年产值可达36亿元。

  据此前公开消息,该项目计划2020年底实现量产,2022年满产。

  传感动态

  【英飞凌与Blumio合作开发基于雷达的可穿戴式血压传感器】

  英飞凌科技公司近日宣布,其硅谷创新中心(SVIC)与Blumio签订了一项新协议,共同开发基于英飞凌XENSIV?雷达芯片组的可穿戴、无创血压传感器。

  到2021年,这种新型传感器有可能在不戴袖带的情况下进行连续、精确的测量,从而影响450亿美元的可穿戴式心血管监测设备市场。

  此次研发成功完成后,将向消费者和医疗可穿戴设备制造商发布将英飞凌雷达芯片组和开发板与Blumio软件和算法相结合的套件,以集成到他们的血压监测设备中。

  【新型光刻技术解决硅材料脆性难题】

  苏黎世联邦理工学院(ETH)与瑞士国家联邦实验室(EMPA)材料与纳米结构力学实验室合作完成的新研究表明,在特定的受控条件下,硅可以成为又容易变形又坚固的材料。此项功能特性的增强将有助于解决MEMS机械性能极限难题。

  研究团队开发了一套特殊光刻技术。首先使用等离子体气体刻蚀硅表面无光刻胶保护的区域,从而获得所需的结构——微型硅柱。然后在接下来的工艺步骤中,硅柱表面被氧化,氧化层厚度小于100 nm,再用氟化氢(HF)完全去除氧化层,完成表面清洁。

  研究团队对硅柱的强度和塑性变形能力进行了测试,称已经达到了超高的弹性应变极限和接近完美的强度——用光刻技术制作的硅柱变形能力是过去研究记录的十倍以上。

  【霍尼韦尔公司开展UAM飞行器自主着陆传感器测试】

  美国霍尼韦尔公司正在试飞可以引导城市空中交通(UAM)飞行器在没有飞行员干预的情况下着陆的传感器,包括用于分析类似于二维码(QR码)的视觉标记的摄像头,该标记有助于将飞行器引导至指定的着陆点。

  霍尼韦尔公司目前正在进行传感器测试数据收集,同时不断进行改进完善,以支持未来的自主着陆功能。数据收集工作将持续到2020年年底,并在接下来的12个月内进行全自动着陆演示。

  【Vu Systems公司完成机载无源毫米波传感器开发测试】

  Visibility Unlimited (Vū) Systems公司宣布,已经完成了Vu Cube无源毫米波(PMMW)传感器的开发测试。

  使用Vu Cube传感器可提升飞行员在极端天气条件(例如下雨、雾和云)的视觉能力,且能见距离比红外传感器更远,在低能见度条件下可达两到三英里(3.2-4.9千米)。测试是使用“空中国王”飞机在下雨,大雾和极低的云层高度条件下的150多次进近过程中进行的,Vu Cube安装在测试飞机的机头。

  该传感器的工作波长比当今最先进的传感器的波长长一千倍,这使得Vu Cube可以在传统传感器无法检测到的情况下穿透云层和雾气。即使在浓雾中,红外传感器无法使用时,飞行员也可以使用Vu Cube提供的图像看到跑道。

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