华海清科向国内先进存储领军企业交付自主研发离子注入设备
近日，华海清科股份有限公司（以下简称“华海清科”）的全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司宣布，其自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE已顺利交付给国内先进存储领域的龙头企业。
该设备由芯嵛半导体完全自主研发，据官方介绍，iPUMA-LE在多个核心性能指标上已达到国际领先水平，展现出卓越的束流传输效率、离子注入均匀性以及角度控制精度，能够全面满足先进制程与存储器件对离子注入工艺的高要求。
目前，华海清科在离子注入设备领域已构建起较为完整的产品体系。除大束流离子注入机实现多型号覆盖外，中束流离子注入机也取得关键性突破，高能离子注入机则正处于积极研发与布局阶段。这一系列产品可广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、图像传感器等多个关键领域，有效支持客户在不同工艺节点与器件结构下的多样化制造需求。