Rigaku 与 Onto Innovation 建立战略联盟，推动半导体先进计量发展
通过融合X光、光学及人工智能技术，双方联手拓展半导体检测与工艺控制的业务前景。
全球领先的X射线分析技术企业 Rigaku Holdings Corporation（总部位于日本东京都昭岛市，首席执行官 Jun Kawakami）近日宣布，已与总部设于美国马萨诸塞州的 Onto Innovation Inc.（首席执行官 Michael P. Plisinski）建立战略性的资本与业务合作关系。
双品牌联合标识
Rigaku 的 XTRAIA CD-3200T X射线计量系统与 Onto Innovation 的模型驱动分析技术。
Rigaku 首席执行官 Jun Kawakami 表示：“当前的半导体器件正朝着更复杂化、三维结构化的方向发展，这促使 Rigaku 不断寻求将模型驱动算法和AI技术融入光学计量中的创新方式，以提升整体分析能力。Onto Innovation 在光学计量、软件开发以及X射线物理建模方面拥有深厚积累，成为我们最理想的合作伙伴。”
此次联盟将有助于 Rigaku 推动其在半导体工艺控制领域的发展战略。通过结合 Rigaku 的X射线技术与 Onto Innovation 的光学计量和AI驱动分析软件，双方致力于为日益复杂的半导体器件开发下一代混合计量解决方案。
Onto Innovation 首席执行官 Michael P. Plisinski 指出：“半导体行业正加速采用新型材料、3D晶体管结构以及3D与2.5D芯粒封装等创新技术。这些趋势对测量与表征手段提出了更高要求。我们非常期待与 Rigaku 深化合作，共同打造满足客户创新需求的解决方案。”
两家公司此前已在混合计量领域开展合作，整合 Rigaku 的CD-SAXS系统与 Onto Innovation 的分析软件。新协议将加快这一联合开发项目的进度，并扩大其应用范围。
关于 Onto Innovation
Onto Innovation 是全球领先的工艺控制解决方案提供商，业务涵盖无图案晶圆质量检测、纳米级晶体管至芯片互连的3D计量、晶圆与封装缺陷检测、金属互连成分分析、工厂级分析以及先进封装光刻技术。公司总部位于马萨诸塞州威尔明顿，通过全球销售及服务网络为客户提供支持。更多信息请访问 ontoinnovation.com。
战略重点
- 强化 Rigaku 在半导体工艺控制领域的布局，推动其关键增长目标。
- 整合 Rigaku 的X射线技术与 Onto Innovation 的光学与软件技术，形成协同效应，为客户提供更深入的工艺洞察。
- 适应行业发展趋势，满足客户在半导体制造复杂性日益提升背景下的多样化需求。
- 通过此次合作，增强 Rigaku 在半导体工艺控制领域的竞争力。
关键合作举措
- 开发前道工序的混合计量解决方案，结合X射线与光学技术，提升对先进逻辑与存储器件的检测能力。
- 拓展先进封装领域，加速在检测与计量应用中的市场渗透。
- 开拓新的市场机会，计划至2030年前为 Rigaku 带来至少3亿美元的增量收入。
- 融合软件与人工智能技术，推动测量、分析、工艺优化与良率管理的一体化解决方案。
- 借助 Onto Innovation 的全球客户基础，扩大 Rigaku 的市场覆盖。
资本合作
根据最终协议，Onto Innovation 已从 Atom Investment, L.P. 处购入 61,123,436 股 Rigaku 股份，占公司截至2026年3月31日（不含库存股）已发行股份的27%，从而建立起两家公司之间的长期战略联盟。
治理结构
Rigaku 将继续维持其作为上市公司的独立运营。协议中还包含若干条款，旨在保障联盟的稳定与长期发展，包括对股份转让和进一步收购的限制。更多详情可通过 Rigaku 官网或东京证券交易所网站查阅今日发布的官方公告。
关于 Rigaku 集团
自1951年成立以来，Rigaku 一直致力于通过前沿技术改善社会，尤其在X射线与热分析领域积累了丰富的经验。Rigaku 的业务覆盖136个国家和地区，全球九个分支机构中共有约2000名员工，是工业界与研究机构的重要合作伙伴。其海外销售占比达70%，在日本本土也占据主导市场份额。随着应用范围不断扩展，从半导体、电子材料、电池、环境监测，到生命科学与能源等领域，Rigaku 致力于“通过推动新视角改善世界”。更多信息请访问 rigaku-holdings.com。
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