SEMICON现场聚焦：日立科学仪器展示SU9600扫描电镜及“One Hitachi”整体解决方案
在SEMICON China 2026展会期间，仪器信息网对日立科学仪器（北京）有限公司市场部副部长周鸥进行了专访。他介绍了日立在此次展会上推出的全新产品——SU9600扫描电子显微镜。该设备是SU9000的升级版，在1000伏减速模式下分辨率从0.7nm提升至0.6nm，并对探测器和扫描模式进行了优化，能够更好地适应制程微缩带来的更高分辨率需求。
除了SU9600，日立还在展台上展示了多项核心产品，包括纳米探针和聚焦离子束（FIB）系统。这些技术在样品制备和高精度检测中发挥关键作用。
围绕半导体检测领域长期存在的挑战，周鸥提出了两个核心问题：“看得到”与“看得清”。“看得到”要求通过样品制样设备，如FIB或离子研磨系统，将目标区域暴露出来；而“看得清”则依赖于高分辨率扫描电镜和透射电镜，以便捕捉缺陷特征并分析其成因，从而有效提升芯片良率。
在化合物半导体和先进封装领域，这一挑战更为突出，同样需要多种检测手段的协同配合，包括离子研磨、FIB等技术。
为应对上述复杂场景，日立高新技术集团联合旗下多个业务单元共同参展，展示了从光学缺陷定位、X射线缺陷检测到刻蚀与制造设备的一系列资源。公司以“One Hitachi”整体解决方案为核心，推动多技术融合，提升客户在研发和生产环节的检测效率。
谈及未来战略，日立将重点放在增强客户满意度与售后服务体系建设上。同时，公司计划进一步整合内部多个事业部的产品资源，构建更完整的检测与分析解决方案。
周鸥还强调，半导体产业的发展离不开人才支撑，建议企业重视专业技术人员的培养。厂商与客户应携手推动培训机制的完善，提升整个行业的检测水平与技术储备。