浙江6英寸MEMS传感器研发项目迎来首台设备进驻，预计2026年底投产
根据衢州智造新城官方公众号于2月2日发布的消息，1月31日，浙江岚芯半导体科技有限责任公司6英寸高性能传感器及智能系统生产线研发项目的首台设备正式进入厂区。这一重要节点标志着该公司特色工艺晶圆制造基地及总部项目进入了实质性建设阶段。
作为浙江芯晟半导体科技有限责任公司的全资子公司，岚芯半导体是智造新城去年在集成电路领域引进的重点百亿级项目。此次进场设备属于6英寸MEMS研发项目的一部分。该项目将围绕MEMS关键核心技术展开攻关，重点建设包括MEMS陀螺仪、微振镜、压力传感器等核心器件的工艺平台，旨在突破国外技术壁垒，填补国内在6英寸高端MEMS产品领域的空白。
项目计划于2026年底前实现投产，其产品将广泛应用于汽车电子、航空航天、人形机器人等战略性新兴产业。
“目前，MEMS产业正处于快速增长期。”智造新城相关负责人指出，岚芯项目的落地不仅填补了当地在MEMS晶圆制造领域的空白，也增强了与金瑞泓、奥首、中巨芯等本地企业的协同效应，同时将与先导传感器项目共同推动百亿级半导体产业集群的形成。
据悉，岚芯项目由西安龙鼎投资管理有限公司引入衢州。该企业董事长吴叶楠表示，期望将岚芯项目打造为行业标杆，推动传感器产业在衢州扎根发展，助力衢州建设成为国内重要的传感器制造中心。同时，他希望吸引更多上下游企业入驻，推动区域产业链升级。
“从项目立项到首台设备顺利进驻，我们仅用了短短三个月。”浙江岚芯半导体科技有限责任公司总经理吴晓明表示，公司将继续加快各阶段建设进度，确保项目早日投产并产生实际效益，争取成为MEMS领域的领先企业。
审核编辑 黄宇