中国电科第三台电子束光刻机顺利出运
2025年12月28日，中国电子科技集团公司第四十八研究所自主研发的第三台电子束光刻机（EBL）成功完成出厂验收，并正式启运交付客户。这一节点标志着中国电科在电子束光刻设备领域迈入批量生产与稳定交付的新阶段。
电子束光刻机作为纳米制造环节中不可或缺的关键设备，广泛应用于化合物半导体、量子信息技术以及人工智能芯片等多个前沿领域。中国电科48所围绕“三束”（离子束、分子束、电子束）技术路线持续开展核心关键技术攻关，不断优化设备性能和工艺稳定性。本次设备的顺利交付，体现了从研发成果向产业化制造能力转化的实质性进展。
多年来，中国电科48所始终围绕国家科技发展战略，坚持走自主可控的发展路径，持续推进关键核心装备的国产化替代进程。通过在高精度、高可靠性传感器与制造设备领域的深入布局，该所在提升我国高端制造装备自主保障能力、完善产业链生态方面发挥着重要作用。
此次发货不仅体现了国产电子束光刻设备在技术成熟度上的显著提升，也预示着我国在精密微纳制造领域逐步具备规模化生产能力。
来源：中国电科48所