大尺寸SQUID 磁传感器的封装技术研究
马郢先,李 华,张树林,孙立敏
(1. 上海大学微电子学院,上海200444; 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050)
2026-07-24
为保证大尺寸超导量子干涉器(SQUID)磁强计流片后测试、调试及液氦温度下系统长期稳定工作,需要对其进行适当的封装保护。首先进行了有限元仿真,研究灌封胶的热膨胀系数对封装应力的影响;根据仿真结果,制备了掺杂填料的灌封胶。使用制备的灌封胶,对磁强计进行封装,并进行测试。结果 显示,灌封胶热膨胀系数越低,温度循环后引线连接断连率越低,且经过-196 ℃与室温间的10 次温度循环后,磁强计的本征噪声与临界电流均未发生明显变化。这说明本文提出的封装方法可适用于大尺寸SQUID 磁强计的封装保护。
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年份: 2026年
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  • :超导量子干涉器件;封装;环氧树脂;引线键合