集微网消息，本周，华虹半导体新增设备招标34台，芯未半导体新增设备招标10台，汇芯通信新增设备招标7台，上海积塔新增设备招标6台；嘉芯迦能新增中标设备2台，富岚半导体新增中标设备2台，应用材料新增中标设备1台，KLA新增中标设备1台。
重要招标数据：
本周招标71台设备，其中，刻蚀设备2台，薄膜沉积5台，工艺检测3台，离子注入1台，热处理2台，清洗设备8台，其他设备50台。
重要中标数据：
本周中标32台设备，其中，薄膜沉积7台，工艺检测4台，热处理1台，其他设备20台。
本周重点企业动态：
近日，西安奕斯伟硅产业基地项目二期厂房建设进展顺利，预计5月封顶；拓荆科技产品已进入国内60多条产线，目前在手订单饱满；佳能推出晶圆测量机，可缩短曝光工艺花费的时间，提高成品率；ASML发布声明表示，ASML预计必须申请许可证方可出口DUV设备，同时新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统，先进程度相对较低的浸润式光刻系统已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。
以下是本周部分招标信息汇总：
以下是本周部分中标信息汇总：
（校对/韩秀荣）