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严选MEMS微纳加工厂家，提供从MEMS微纳加工设计、研发、生产制造深耕产品，打造值得信赖的传感器品牌，解决选品、技术支持问题，实现采购放心、售后无忧。

山东产研微纳与智能制造研究院

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山东产研微纳与智能制造研究院有限公司山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台（中试线）- 4&6英寸2023年5月，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通，实现具备完整MEMS生产加工能力，其自主生产的首款产品正式下线并交付。微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。洁净间面积约1800平方米，包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区，配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备90余台，可实现MEMS 山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆，MEMS晶圆尺寸为4&6英寸。
SIERA 硅时代电子

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利用MEMS领域近20年的技术积累，在MEMS传感器、生物MEMS、光学MEMS以及射频MEMS方面都拥有大量的设计和工艺经验。可提供MEMS芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS芯片工艺验证、MEMS芯片小批量试制、MEMS芯片中试化量产、MEMS芯片封装方案设计等系统解决方案，也提供MEMS设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发公司拥有强大的MEMS设计与加工实力，具备成熟的光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等微纳加工能力。技术实力苏州硅时代电子有限公司拥有强大的MEMS设计与加工实力，具备成熟的光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等全套微纳加工能力。公司可为客户提供更快捷的微纳代工服务，最快可实现24小时交付，可承接全流程器件仿真、设计、流片、封装，可为客户产品保驾护航。
Avptec 艾微普科技

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浙江艾微普科技有限公司由美国硅谷企业家团队与国内著名上市企业天通公司(TDG)合作，在浙江海宁创立。公司聚集了多位海内外资深微纳加工及半导体设备、工艺、材料专家，专注打造世界先进水平的高端微纳器件、半导体、及新能源加工设备。公司的核心技术和产品包括物理气相沉积/磁控溅射（PVD）、离子束刻蚀机（IBE）、反应离子刻蚀机（RIE）等系列MEMS、半导体、新能源器件制造专用设备。公司自创立以来，已经获得几十项国家专利。公司在硅谷及中国，凭借专业优势与出色的服务, 在业界赢得声誉，产品广泛应用于MEMS、半导体、硬盘等行业，是西部数据、博通、TDK、LUMENTUM、华虹宏力、苏州度亘、无锡美新、苏州纳米研究院、歌尔声学等著名企业公司依托海宁优秀的创业、人文环境，致力于核心微纳加工装备的国产化，新型微纳加工装备的研发、生产，及工艺和材料的研发，为蓬勃兴起的中国MEMS、半导体、新能源等产业献力赋能。
ICNano 芯云纳米

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芯云纳米技术（苏州）有限公司是一家专注于微机电系统（MEMS）器件设计与加工的高科技公司，公司位于具有完整的微纳制造上下游配套产业链和产业集聚氛围的苏州工业园区。团队成员来自于国际知名半导体公司德州仪器（TI)和超微半导体（AMD）等，以及中科院等知名研究所，在MEMS领域拥有十余年的技术积累和储备，掌握数十项芯片开发、工艺设计、微纳制造以及封装测试技术，包括温湿度传感器、气体传感器、红外传感器、流量传感器、压力传感器、压电声学器件及生物类MEMS器件等。芯云纳米具有强大的MEMS器件制造和生产能力，加工方法和设备成熟稳定，提供定制化的产品开发和验证，包含产品设计、器件仿真和工艺单步和全流程验证，同时为客户提供小批量产品中试和量产，并提供相应的封装测试服务等系统解决方案，真正实现MEMS一站式服务。
SZTU 微纳加工中心

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深圳技术大学半导体微纳加工中心是集产、学、研于一体的加工平台，作为广东省深圳市的公共服务平台，深技大微纳加工平台既为大学和科研院所的科学研究提供服务，也为企业技术研发和中试提供全方位的开放服务，包括以下开放模式技术开放：微纳加工中心可以提供全方位的技术支持，以促进微纳加工技术进步，降低使用者的技术研发成本。半导体微纳加⼯中⼼拥有超2000平⽅⽶的超净室，⼯艺线主要设备超过120台(套)，具备专业技术过硬的研发、⼯艺和设备⼯程师团队。微纳加⼯中⼼拥有化合物光电器件的全套⼯艺加⼯能⼒，如GaAs和InP基VCSEL、DFB等，兼具部分第三代半导体（如GaN、SiC）和硅基MEMS器件加⼯能⼒。平台特色平台服务，光刻工艺设备和键合工艺设备，薄膜工艺设备，离子注入/退火设备和干法刻蚀工艺设备，湿法刻蚀工艺和后道工艺设备，测量表征设备，外延工艺设备，微纳加工中心工艺模块
UIGreen 和林微纳

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苏州和林微纳科技股份有限公司（股票代码: 688661）成立于2012年6月，是一家专注于微型精密制造的国家高新技术企业。长期以来，和林微纳保持对精微技术的持续创新和卓越追求。和林微纳致力于积极承担企业社会责任，打造志愿者活动平台，通过企业公益贡献社会。发展历程2007年主要创始团队及部分核心技术人员在和林精密开展业务和研发工作；初步具备一定的精微加工能力。 2011年认定为高新技术企业；成立苏州和林微纳科技有限公司，开始厂房规划建设；开始研发用于MEMS精微电子零部件产品及其相关生产技术工艺；具备进入MEMS领域的技术条件。麦克风屏蔽罩，激光微孔MEMS麦克风屏蔽罩，微型MEMS麦克风屏蔽罩探针卡、测试套件、测试治具应用领域我们的产品广泛应用于半导体测试、智能消费电子、新能源汽车、医疗器械、工业自动等领域

精微结构件

探针连接器

测试探针

精微屏蔽罩
Hmnst 微纳感知（合肥）

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微纳感知（合肥）技术有限公司是一家专注于MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器研发、生产和销售的国家级高新技术企业，2015年11月由中国科学技术大学留学归国人员创办。公司集合了一批海内外优秀科学家和工程师，团队成员具有在国内外顶尖微电子实验室从事MEMS技术研发的丰富经验，拥有多项涉及MEMS关键技术的专利和研究成果。公司依托中国科学技术大学微纳制造中心，引进国内外先进微纳加工和表征设备，初步建成微纳加工、检测和制造工艺生产线。 MEMS产线（IDM）-8英寸拟投资1.1亿元成立MEMS中试线/MEMS生产线，以年研发8万只MEMS 气体传感器及4万只MEMS气体流量传感器，晶圆尺寸为8英寸, 年投片为6片。主要产品气体传感器微热板芯片，车用锂电池安全监控模块，汽车空气质量模块，半导体式H₂气体传感器，空气质量传感器，VOC气体传感器，催化燃烧式H₂气体传感器，食品新鲜度模组，冷媒传感器，冷媒检测模组，VOC
TZ-NANO 探真纳米

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杭州探真纳米科技有限公司成立于2016年4月份，是国内首家从事AFM探针研发、生产、销售的公司，同时提供微纳加工工艺咨询与服务及微纳领域的新产品研发。公司的发展目标是打造成全球有竞争力的全品类AFM探针生产厂商和MEMS综合代工代研平台。公司的创始人崔波教授，本科毕业于北京大学物理系，博士毕业于美国普林斯顿大学电子工程系，后在加拿大国家实验室任职多年，现任加拿大滑铁卢大学电子与计算机工程系终身正教授，并担任该校微纳加工中心主任。具有27年的微纳米加工研究经验和14年的项目团队管理经验。：空心微针、实心微针、脑机接口微针应用领域半导体，MEMS，传感器
Intellisense 英特神斯

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江苏英特神斯科技有限公司是专业从事MEMS(微电子机械系统)软件研究开发和硬件设计制造的高科技企业，拥有国际先进水平的MEMS、微米纳米设计技术。公司的宗旨是不断开拓市场，提供微纳设计服务。软件可广泛运用于MEMS各个环节，是设计、分析、模拟仿真传感器、加速度计、激励器、生物微流体芯片、射频开关以及光学MEMS器件的强大工具。可以和目前市场上的主流EDA、CAD软件兼容。 ● 硬件业务：MEMS设计与加工平台。○ 各类MEMS传感器的设计、生产、封装、测试、咨询。包含压力传感器、温/湿度传感器、陀螺、加速计、微流体传感器、射频开关等MEMS传感器。 ○ 300多平方米微纳传感器芯片加工超净间。包含键合、光刻、刻蚀等MEMS关键工艺。○ MEMS/CMOS设计、CMOS低功耗电路设计、低功率传感器接口电路设计等。 MEMS产线（代工）江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS软件巨头美国Intellisense的中国战略研发机构，在江苏南京建有MEMS传感器芯片工艺线，与北京大学、清华大学、中国科学院等众多科研机构建立了战略合作关系
Raytron 睿创微纳

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烟台睿创微纳技术股份有限公司（睿创微纳股票代码：688002.SH）是领先的、专业从事专用集成电路、特种芯片设计与制造技术开发的国家高新技术企业，深耕红外、微波、激光三大领域，掌握多光谱传感研发的核心技术与睿创微纳已实现从红外芯片、探测器、机芯模组到整机的全产业链布局；掌握集成电路设计、MEMS传感器设计及制造、封装测试、机芯图像算法开发、系统集成等非制冷红外成像全产业链核心技术及生产工艺，2021年发布世界第一款睿创微纳专注于微波、毫米波频段的芯片、组件及相控阵微系统的研发与制造。激光领域激光具有方向性好、单色性好、相干性好和亮度高的特点，被广泛用于照明、显示、通信、传感、工业加工等多个领域。 3D激光感知睿创微纳开发了系列化3D激光雷达感知产品，掌握了精密扫描器件、光纤激光器、3D成像等核心技术，产品类型包括MEMS振镜和转镜扫描混合固态两种类型激光雷达，激光波长包括905nm和1550nm

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