浙江艾微普科技有限公司 由美国硅谷企业家团队与国内著名上市企业天通公司(TDG)合作,在浙江海宁创立。公司聚集了多位海内外资深微纳加工及半导体设备、工艺、材料专家,专注打造世界先进水平的高端微纳器件、半导体、及新能源加工设备。
公司的核心技术和产品包括物理气相沉积/磁控溅射(PVD)、离子束刻蚀机(IBE)、反应离子刻蚀机(RIE)等系列MEMS、半导体、新能源器件制造专用设备。公司自创立以来,已经获得几十项国家专利。
公司在硅谷及中国,凭借专业优势与出色的服务, 在业界赢得声誉,产品广泛应用于MEMS、半导体、硬盘等行业,是西部数据、博通、TDK、LUMENTUM、华虹宏力、苏州度亘、无锡美新、苏州纳米研究院、歌尔声学等著名企业、机构的战略供应商。公司总部位于浙江海宁泛半导体产业园区,占地近6000平米,拥有千级超净间1000多平米。机加车间占地1000平米,配有机加工中心、立/卧式车床、焊接、剪切、喷砂、清洗、热处理等门类齐全的机加设备。
公司依托海宁优秀的创业、人文环境,致力于核心微纳加工装备的国产化,新型微纳加工装备的研发、生产,及工艺和材料的研发,为蓬勃兴起的中国MEMS、半导体、新能源等产业献力赋能。
产品技术
薄膜沉积
薄膜刻蚀
其他设备