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TZ-NANO 探真纳米

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公司简介


传感专家


杭州探真纳米科技有限公司 成立于2016年4月份,是国内首家从事AFM探针研发、生产、销售的公司,同时提供微纳加工工艺咨询与服务及微纳领域的新产品研发。

公司的发展目标是打造成全球有竞争力的全品类AFM探针生产厂商和MEMS综合代工代研平台。

公司的创始人崔波教授,本科毕业于北京大学物理系,博士毕业于美国普林斯顿大学电子工程系,后在加拿大国家实验室任职多年,现任加拿大滑铁卢大学电子与计算机工程系终身正教授,并担任该校微纳加工中心主任。具有27年的微纳米加工研究经验和14年的项目团队管理经验。

由原中科院微电子所研究员朱效立博士领衔的,来自于加拿大滑铁卢大学的博士、硕士、中科院物理所及上海大学的硕士研发技术团队,目前共十四人,全部为硕士以上学历。公司与加拿大滑铁卢大学、清华大学、上海交通大学、南京大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等多家微纳领域海内外学术及研发机构,均有深度合作。

公司目前已在山东淄博建立起了包括激光直写,深硅刻蚀,低温刻蚀等二十多台设备,总价值超过2000万元的百级超净间。

公司自主开发及代研了二十多项产品和项目,获得五项技术专利。所研发的原子力显微镜大高宽比探针等一系列原子力显微镜探针产品,填补了国内空白,可实现国产替代,解决卡脖子问题。

公司为海内外多家单位,在微针、AR斜齿/闪耀光栅、超构透镜(单晶硅、非晶硅、氮化硅)、硅光机构、深硅/体硅结构等等器件与机构方面,提供过代工代研服务。


主要产品

AFM探针:TZ-HAR10探针、磁性探针、导电探针、氮化硅探针、金刚石探针、小球探针

AR/VR/MR:斜齿光栅、直齿光栅、闪耀光栅

其他结构:X-光光谱仪光栅、柔性压电传感器、硅光子结构、太赫兹器件

微针:空心微针、实心微针、脑机接口微针


应用领域

半导体,MEMS,传感器



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