帧率:4600剖面/秒（ROI模式） |
X轴分辨率:2912点 |
Z轴测量范围:25mm至200mm |
Z轴线性度:±0.01% |
抗振性:20g |
数据传输接口:以太网1000 Mbps, RS422 |
检测原理:非接触式 |
主要测量精度:±0.05mm（95-195mm范围内） |
可选模块:视频检测模块、无线连接模块 |
支持参数检测:直径、圆度、锥度、表面缺陷 |
测量点数:32,000个表面点 |
空间分辨率:3200点/周转 |
距离精度:0.1微米 |
图像处理:高分辨率光学系统 |
工作模式:非接触式 |
扫描速度:快速扫描 |
数据反馈方式:实时数据反馈 |
距离精度:±1μm |
分辨率:0.1μm |
数据处理能力:实时监控和分析 |
测量速度:毫秒级 |
适用对象:不同厚度和材质的晶圆 |
检测原理:非接触式 |
X轴分辨率:640或1280点 |
X轴线性度:±0.2% of the range |
Z轴分辨率:0.01% of the range |
Z轴线性度:±0.01% of the range |
工作环境适应性:抗振、抗冲击，适用于恶劣工业环境 |
扫描速度（ROI模式）:每秒16000轮廓 |
扫描速度（全量程模式）:每秒不低于4000轮廓 |
距离精度:0.5微米 |
测量速度:每秒2000次 |
距离精度:±1µm |
检测原理:非接触式光学测量 |
图像处理:高分辨率相机 + 先进图像处理算法 |
分辨率:0.1µm |
测量速度:几秒/次 |
距离精度:0.1微米 |
图像处理:高分辨率光学系统 |
工作模式:非接触式 |
扫描速度:快速扫描 |
工作温度:-40°C至+120°C |
X轴宽度:11mm至500mm |
X轴线性度:±0.2% of the range |
Z轴线性度:±0.01% of the range |
Z轴量程:10mm至1000mm |
扫描速度（ROI模式）:高达16000轮廓/秒 |
扫描速度（全量程模式）:不低于4000轮廓/秒 |
X轴分辨率:1280点或2560点 |
Z轴量程精度:0.01% |
扫描速度（ROI模式）:16000轮廓/秒 |
扫描速度（全量程模式）:4000轮廓/秒 |
激光线设计比值（X轴终点宽度与Z轴量程）:≥2.5 |
距离精度:0.5微米 |
测量速度:每秒1200点 |
距离精度:微米级 |
图像采集速度:1000帧/秒 |
距离精度:±1μm |
检测原理:多种测量模式 |
分辨率:0.1μm |
数据处理能力:实时监控和分析 |
测量速度:毫秒级 |
适用对象:不同厚度和材质的晶圆 |
距离精度:±1μm |
测量速度:每秒3000次 |
距离精度:±1μm |
帧率:每秒钟数十个数据点 |
距离精度:±2μm |
校准:复杂工业环境 |
检测原理:非接触式光学测量 |
定制能力:支持小批量、低成本定制 |
操作界面:智能化操作界面 |
数据处理功能:自动生成测量报告 |
距离精度:±1μm |
数据采集频率:2000次/秒 |
距离精度:1μm |
检测原理:非接触式 |
接口:友好 |
图像处理技术:高分辨率图像处理 |
操作方式:简单 |
数据处理速度:快速 |
最大可测高度:50mm |
最小可测高度:0.2mm |
成像技术:高分辨率投影图像技术 |
距离精度:±0.5μm |
工作模式:在线实时测量 |
测量形式:非接触式光学测量 |
测量速度:200个测量点/次 |
适用材料:多种薄膜基材 |
距离精度:±1μm |
数据采集频率:2000次/秒 |
距离精度:±2μm |
工作模式:在线投影图像测量 |
分辨率:0.1μm |
数据处理能力:高效数据处理 |
测量形式:多点同时测量 |
工作温度:-40°C至+120°C |
X轴分辨率:640或1280点 |
X轴线性度:±0.2% of the range |
Z轴分辨率:0.01% of the range |
Z轴线性度:±0.01% of the range |
扫描速度（ROI模式）:16000轮廓/秒 |
扫描速度（全量程模式）:4000轮廓/秒 |
距离精度:0.1微米 |
检测原理:光学投影图像测量 |
图像处理:实时生成测量报告 |
定制能力:支持小批量、低成本定制 |
操作方式:自动检测 |
检测效率:高速检测 |
测量对象:活塞凹槽宽度、表面异物 |
距离精度:微米级 |
分辨率:0.1μm |
数据处理能力:高效数据处理系统 |
距离精度:微米级 |
工作模式:二维高速投影图像测量 |
定制能力:支持小批量、低成本定制 |
最小分辨率:0.001mm |
测点数量:100个 |
适应性:可消除外部光干扰 |
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