分辨率:优于 0.1 纳米，最高可达 7 皮米 (RMS) |
测量范围:20 µm 至 10 mm |
温度稳定性:热膨胀系数可达 0.31 ppm/K（使用超殷钢材料） |
真空兼容性:支持超高真空（UHV）环境，无出气污染 |
线性度:低至 0.02% |
频率响应:高达 10 kHz |
分辨率:优于0.1纳米，最高可达7皮米 |
工作温度范围:适用于真空、极端低温、强辐射环境 |
材料特性:使用超殷钢，热膨胀系数0.31-ppm/K |
测量范围:20微米到10毫米 |
线性度:优于0.02% |
频率响应:高达10kHz |
分辨率:纳米级 |
工作温度范围:-50°C 至 +200°C（可定制至 +450°C） |
测量方式:非接触式 |
测量范围:50 微米至 10 毫米 |
精度:±0.5% |
适用材料:金属箔、塑料箔、半导体晶圆 |
防护等级:IP68 |
分辨率:0.1纳米 |
测量范围:±5微米至2毫米 |
滤波器频率选项:10 Hz、100 Hz、1 kHz、10 kHz |
热膨胀系数:0.31 ppm/K |
分辨率:亚纳米级 |
工作频率:最大 10kHz |
测量方式:非接触式 |
测量范围:±5μm 至 2mm |
温度稳定性:高 |
输出类型:标准模拟输出 |
驱动电路:专利 PhaseLock™ 探头驱动电路 |
分辨率:纳米级 |
工作温度范围:接近绝对零度至常温（具体范围未明确，但强调极广） |
总精度:±0.5% |
是否支持更换探头后无需重新校准:是 |
测量方式:非接触式电容测量 |
输出电压灵敏度调节范围:0到10倍 |
传感器数量:48个 |
分辨率:0.02% FS |
工作模式:插入式测量 |
数据传输方式:无线传输 |
测量对象:紧固件孔内径 |
测量形式:非接触式 |
测量类型:孔径测量 |
测量精度:0.1% FS |
测量速度:24个内径/3秒 |
适用孔型:直形、锥形、埋头孔 |
重复性:高 |
分辨率:0.1纳米 |
材料:超殷钢 |
测量方式:非接触式 |
测量范围:±5微米到2毫米 |
温度稳定性（热膨胀系数）:0.31 ppm/K |
驱动电路技术:PhaseLock™探头驱动电路 |
专利技术:PhaseLock™探头驱动电路 |
分辨率:亚纳米级 |
测量方式:非接触式 |
测量范围:±5μm 至 2mm |
温度稳定性:优秀 |
输出接口:标准模拟输出 |
适用目标:未接地目标 |
分辨率:纳米级 |
总精度:±0.5% |
环境适应性:接近绝对零度的极低温度下仍可工作 |
维护方式:通过吹气清洁传感器与目标之间的间隙 |
输出电压灵敏度范围:0到10倍 |
分辨率:0.1纳米 |
温度稳定性:超殷钢材料，热膨胀系数0.31-ppm/K |
滤波器选项:可选不同频率滤波器 |
输出方式:标准模拟输出 |
适用目标:未接地目标和厚度测量 |
量程范围:20微米至11毫米 |
分辨率:亚纳米级 |
测量方式:非接触式 |
测量范围:±5μm-2mm |
温度稳定性:出色 |
输出方式:标准模拟输出 |
驱动电路技术:PhaseLock™探头驱动电路 |
分辨率:纳米级 |
工作温度范围:接近绝对零度至常温（具体范围未明确，但支持极低温环境） |
总精度:±0.5% |
校准需求:更换探头后无需重新校准 |
测量方式:非接触式 |
输出电压灵敏度调节范围:0到10倍 |
分辨率:纳米级 |
总精度:±0.5% |
测量方式:非接触式 |
温度适应性:可在接近绝对零度的极低温度下工作 |
输出电压灵敏度调节范围:0到10倍 |
分辨率:亚纳米级 |
最大采样频率:10 kHz |
测量范围:±5um-2mm |
温度稳定性:优秀 |
连接方式:便于与A/D板连接 |
驱动电路:专利PhaseLock™探头驱动电路 |
分辨率:纳米级 |
工作温度范围:接近绝对零度 |
总精度:±0.5% |
测量方式:非接触式 |
输出电压灵敏度调节范围:0到10倍 |
适用环境:低温环境 |
分辨率:亚纳米 |
工作频率:最大10 kHz |
测量方式:非接触式 |
测量范围:±5μm至2mm |
温度稳定性:出色 |
驱动电路:专利PhaseLock™探头驱动电路 |
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