产品概述
在现代工业领域,微位移测量是确保设备精度与可靠性的关键环节,尤其在精密工程、半导体制造和光学元件的加工中,压电微位移测量技术的应用尤为重要。英国真尚有科技推出的ZSY-ZNXSensor光电传感器,是一款基于电容原理的高精度位移测量设备,具备超高分辨率、卓越的温度稳定性以及灵活的应用性。
核心特点/优势
- 超高分辨率,最低可达0.1纳米,确保在微小位移变化下也能提供精准反馈。
- 测量范围广泛,支持从±5微米至2毫米的短距离非接触式测量。
- 采用超殷钢材料,热膨胀系数低至0.31 ppm/K,有效减少温度变化引起的测量误差。
- 探头驱动电路采用专利PhaseLock™技术,显著提升未接地目标和厚度测量的精度。
- 提供多种滤波器频率选项(10 Hz、100 Hz、1 kHz、10 kHz),用户可根据实际需求选择最优分辨率。
- 支持小批量、低成本定制,满足特殊应用需求。
应用领域
- 精密工程中对微小位移的高精度测量。
- 半导体制造中对晶圆、芯片等微结构的非接触测量。
- 光学元件加工中对镜片、透镜等高精度表面的位移检测。
选型指南/使用建议
建议根据实际测量范围和分辨率需求选择合适的传感器型号。在温度波动较大的环境中,建议优先选择热膨胀系数低的型号以确保测量稳定性。使用时应避免强电磁干扰,并确保测量目标表面清洁、无反光干扰。支持多种滤波器频率选项,可根据测量对象的动态特性进行优化配置。
ZSY-ZNXSensor 光电传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 分辨率 | 0.1纳米 | |
| 测量范围 | ±5微米至2毫米 | |
| 滤波器频率选项 | 10 Hz、100 Hz、1 kHz、10 kHz | |
| 热膨胀系数 | 0.31 ppm/K |
产品替代
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