光斑直径:200μm |
功耗:<20W |
厚度测量速率:4 KHz |
厚度量程:2-200μm (@n=1.5) |
型号:Tru-WLI-VIS500-TH66 |
工作距离 (量程中心):~66mm |
建议测量范围:±3.5mm |
探头尺寸:Φ12×29mm |
探头重量:20g |
控制器重量:2.3kg |
电源:24 VDC±10% |
线性度:±80nm @100μm石英玻璃 ±3.5mm范围内 |
重复精度:<0.5nm@100μm石英玻璃 |
镜面最大测量角度:±3° |
光斑直径:10 μm |
功耗:<10W |
厚度测量速率:4 KHz |
厚度量程:10-2000μm (@n=1.5) |
型号:Tru-WLI-NIR3500-TH46 |
工作距离(量程中心):~46mm |
建议测量范围:±3.5mm |
探头尺寸:Φ10×39mm |
探头重量:18g |
控制器重量:2.5kg |
电源:24 VDC±10% |
线性度:±150nm@1mm 石英玻璃±3.5mm范围内 |
重复精度:< 2nm@1mm石英玻璃 |
镜面最大测量角度:±2° |
光斑直径:30μm |
功耗:<10W |
厚度测量速率:15KHz |
型号:Tru-WLI-NIR7000-TH47 |
工作距离(量程中心):~47mm |
建议测量范围:±3.5mm |
探头尺寸:Φ12×45mm |
探头重量:12g |
控制器重量:2.8kg |
电源:24 VDC±10% |
线性度:±250nm@1mm硅片±3.5mm范围内 |
重复精度:< 2nm@1.5mm硅片 |
量程:10-1500μm (@n=3.5) |
镜面最大测量角度:±2° |
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