产品概述
TRUSEE Tru-WLI-VIS500-TH66 是一款基于白光干涉原理的高精度光学膜厚测量仪，适用于薄膜、薄层玻璃及光刻胶等材料的厚度测量。该设备采用紧凑型探头设计，具备高重复精度和宽测量范围，适用于半导体、光学、电子制造等精密测量场景。
核心特点/优势
- 高性价比，适用于薄膜和薄层玻璃的厚度测量
- 重复精度 < 0.5nm @ 100μm 石英玻璃，确保测量稳定性
- ±3.5mm 宽范围工作距离内均可实现稳定测试
- 探头结构紧凑，便于集成至有限空间内
- 内置光路滤光片，支持光刻胶厚度测量
应用领域
- 薄膜厚度测量
- 薄层玻璃厚度检测
- 光刻胶厚度测量
Tru-WLI-VIS500-TH66 干涉测厚仪选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 光斑直径 | 200μm | |
| 功耗 | <20W | |
| 厚度测量速率 | 4 KHz | |
| 厚度量程 | 2-200μm (@n=1.5) | |
| 型号 | Tru-WLI-VIS500-TH66 | |
| 工作距离 (量程中心) | ~66mm | |
| 建议测量范围 | ±3.5mm | |
| 探头尺寸 | Φ12×29mm | |
| 探头重量 | 20g | |
| 控制器重量 | 2.3kg | |
| 电源 | 24 VDC±10% | |
| 线性度 | ±80nm @100μm石英玻璃 ±3.5mm范围内 | |
| 重复精度 | <0.5nm@100μm石英玻璃 | |
| 镜面最大测量角度 | ±3° |
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Tru-WLI-VIS500-TH66 干涉测厚仪资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| 白光干涉测厚仪 | 769.14 KB | 下载 |
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