产品概述
TRUSEE Tru-WLI-NIR7000-TH47 是一款基于白光干涉原理的近红外晶圆厚度测量仪，专为高精度、高速度的厚度测量设计。该设备采用近红外光源，可穿透硅晶圆等不透明材料，实现非接触式测量，适用于半导体制造、光学材料检测等高精度工业场景。
核心特点/优势
- 15KHz的超快测量速率，满足高速生产需求
- 近红外光源设计，可测量硅晶圆等不透明材料
- 10-1500μm宽量程，适用于多种厚度测量场景
- 重复精度<2nm，确保测量数据的高稳定性
- 内置同轴可见指示激光，实现所见即所测
应用领域
- 半导体晶圆厚度测量
- 光学材料厚度检测
- 精密制造中的非接触式测量
Tru-WLI-NIR7000-TH66 光学三角测量位置传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 重复性 | <2nm | |
| 电 气 | ||
| 供电电压 | 24Vdc | |
| 功耗 | <10W | |
| 更多规格 | ||
| Controller Weight | 2.8kg | |
| 线性度 | ±250nm | |
| Max Measurement Angle | ±2° | |
| Measurement Rate | 15KHz | |
| Probe Dimensions | Φ12×45mm | |
| Probe Weight | 12g | |
| Range | 10 ~ 1500μm | |
| Recommended Range | ±3.5mm | |
| Spot Diameter | 30μm | |
| Supply Voltage Range | 21.6 ~ 26.4Vdc | |
| Working Distance | 47mm |
产品替代
找到 个替代产品
资料下载
Tru-WLI-NIR7000-TH66 光学三角测量位置传感器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| 近红外1310nm干涉测厚仪 | 807.31 KB | 下载 |
温馨提示
若上述内容存在差异，请以产品手册为准。
如需获取样品、技术支持或完整规格书，请点击联系销售。
声明：本产品内容及配图源自互联网收集或平台用户自行上传，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如涉及作品内容、版权等问题，请联系本网处理，侵权内容将在一周内下架整改。
