产品概述
TRUSEE Tru-WLI-NIR3500-TH46 是一款基于白光干涉原理的高精度光学三角测量位置传感器，专为薄膜厚度测量设计。该设备适用于精密光学元件、半导体材料、玻璃基板等透明或半透明材料的非接触式厚度测量，具有高重复精度、高测量速率和小光斑直径等优势。
核心特点/优势
- 重复精度 < 2nm@1mm 石英玻璃，确保测量结果高度一致
- 线性度 ±150nm@1mm 石英玻璃 ±3.5mm 范围内，适用于高精度测量场景
- 光斑直径仅 10μm，实现微小区域的高分辨率测量
- 测量速率高达 4 KHz，满足高速生产需求
- 探头重量仅 18g，便于集成与手持操作
- 支持 ±2° 的镜面测量角度，适应多种测量角度需求
应用领域
- 薄膜厚度测量：适用于光学镀膜、半导体薄膜、液晶显示等领域的厚度检测
- 精密光学元件检测：用于测量石英玻璃、光学镜片等材料的厚度
- 半导体制造：在晶圆加工、封装等环节中实现非接触厚度测量
- 玻璃与光学材料检测：适用于平板玻璃、曲面玻璃、光学透镜等材料的厚度测量
选型指南/使用建议
建议在 ±3.5mm 范围内使用，以确保最佳测量精度。设备需使用 24 VDC±10% 电源供电，功耗 <10W，适用于工业环境下的稳定运行。探头尺寸为 Φ10×39mm，便于集成至自动化测量系统。测量时应避免强光干扰，并确保被测表面清洁。
Tru-WLI-NIR3500-TH46 光学三角测量位置传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 重复性 | <2nm | |
| 电 气 | ||
| 供电电压 | 24Vdc | |
| 功耗 | <10W | |
| 更多规格 | ||
| 绝对精度 | ±150nm | |
| Controller Weight | 2.5kg | |
| Max Measurement Angle | ±2° | |
| Measurement Rate | 4KHz | |
| Probe Dimensions | Φ10×39mm | |
| Probe Weight | 18g | |
| Range | 10 ~ 2000μm | |
| Refractive Index | 1.5 | |
| Spot Diameter | 10μm | |
| Supply Voltage Range | 21.6 ~ 26.4Vdc | |
| Working Distance | 46mm |
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Tru-WLI-NIR3500-TH46 光学三角测量位置传感器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| 近红外840nm干涉测厚仪 | 748.16 KB | 下载 |
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