小米集团领投，恒脉微完成A+轮融资，加码非硅MEMS微泵赛道
2026年6月，专注于晶圆级非硅MEMS微泵技术研发的恒脉微流电子（杭州）有限公司（简称“恒脉微”）宣布完成A+轮融资。本轮由小米集团旗下的瀚星创业投资有限公司及顺为资本多家关联基金共同参与，投资方合计持股约10%。产业资本的持续加码，体现了市场对非硅MEMS微泵技术长期发展潜力的高度认可。
恒脉微总部位于杭州萧山，是一家致力于极微型泵阀一体MEMS器件研发与产业化解决方案的全球领先企业。随着本轮投资的落地，公司股东结构进一步优化。此前，比亚迪联合创始人夏佐全旗下的正轩投资已重仓布局，如今小米生态与地方政府产业基金的加入，使企业形成了涵盖比亚迪系资本、小米生态链及地方政府支持的多维赋能体系，为商业化进程提供了坚实支撑。
回顾恒脉微的发展历程，其技术突破与资本布局始终同步推进。2021年8月，公司前身浙江恒怡医疗科技有限公司成立，同年10月完成1000万元天使轮融资，迈出初创第一步。2022年8月，公司成功研发出泵阀一体高背压器件，奠定了核心硬件技术基础。2023年成为关键产业化年份，4月推出医疗级血压手表，5月与8月分别设立杭州、南京子公司，6月发布MEMS微泵真血压整套解决方案，8月获得数千万Pre-A轮融资，9月完成血压手表Ⅱ类医疗器械注册申请及临床试验。2025年10月，公司再获A轮融资，正轩投资成为第二大股东，企业正式迈入规模化扩张阶段。
区别于行业主流的硅基MEMS器件研发路径，恒脉微选择了一条非硅材料创新路线，构建了晶圆级非硅MEMS材料与工艺体系，实现了从材料选择到量产工艺的系统性突破。在材料方面，公司摒弃传统硅片，采用不锈钢、碳纤维、钛合金等金属及复合材料，显著提升了器件在韧性、耐温性、耐腐蚀性、导热性及比强度等关键性能指标。在工艺方面，融合激光刻蚀、精密键合、磁控溅射等先进制造技术，实现了晶圆级高精度批量加工，有效解决了非硅器件量产一致性差、良率低的行业难题，推动高性能非硅MEMS器件从实验室走向工业化。
基于其核心技术体系，恒脉微自主研发的MEMS微型泵具备四大核心优势：尺寸达到毫米级，适用于各类设备的紧凑空间；具备低功耗、高背压、大流量输出能力，运行效率显著优于同类产品；量产良率稳定在90%以上，具备规模化供货能力；成本持续优化，打破高端微型器件高价壁垒，助力行业普及。
当前，随着AI算力、消费电子、医疗健康等多领域快速发展，恒脉微的核心产品正迎来广泛的应用场景。在AI算力领域，高端服务器功耗普遍超过700W，传统风冷散热已接近物理极限，而常规水冷方案体积庞大，难以满足高密度部署需求。MEMS微流控液冷技术通过微型泵阀实现冷却液的精准输送，可在散热效率、设备体积和能耗控制三方面实现显著优化，成为高功率芯片热管理的重要升级方向。
在消费电子领域，智能手表内置血压监测、轻薄智能手机、VR/AR头显等产品对体积和性能提出更高要求，微型气泵成为制约产品迭代的关键部件。恒脉微的毫米级微泵产品，正好契合消费电子轻薄化趋势，同时也与小米生态链硬件产品布局高度契合，具备广阔的产业协同空间。
目前，恒脉微的主营业务涵盖MEMS微泵、微阀、泵阀一体化器件及配套解决方案的研发、生产与销售。其自研的微执行器可显著提升下游客户的系统集成度，减少整机体积并降低运行功耗，已在医疗正负压力控制、半导体微空间热管理等核心领域建立起稳固的技术壁垒。
随着A+轮融资资金的到位，以及小米、顺为等产业资本的深度参与，恒脉微将持续优化晶圆级非硅MEMS工艺平台，扩大量产能力，深化与算力硬件、智能穿戴、医疗器械等上下游企业的战略合作，推动MEMS微泵技术在多场景下的商业化落地，致力于成为全球极微型泵阀器件领域的标杆企业。