第十六届中国国际 纳米技术产业博览会
2026年10月21-23日 苏州国际博览中心
中国国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）自2010年举办首届以来，已连续在苏州工业园区成功举办15届，累计邀请169名国内外院士（其中诺奖得主3人）、177616位参展参会嘉宾、8250多家参展企业，论坛报告达3578场。CHInano 2026将于2026年10月21-23日再度启航，为全球产业界搭建洞察趋势、汇聚资源、驱动合作的核心平台。
展商推荐
展位号：328
富睿思（苏州）仪器有限公司
公司介绍
富睿思仪器创立于2021年，是一家专注于表面精密测量设备自主研发与生产的高新技术企业。主要产品包括原子力显微镜、白光轮廓仪等。创始人及技术团队均出身于天津大学精仪系，具有扎实的技术积累和丰富的实践经验。公司致力于推动先进量测技术的发展，为科学研究和泛半导体行业提供可靠的国产解决方案。
产品介绍
AFM-Baritone
200mm机台原子力显微镜
·205mm×205mm高精度快速定位
·三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
·测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
·支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
·支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
·大理石台面提供光学联用系统安装工位
AFM-Tenor
300mm机台原子力显微镜
·400mm×350mm高精度快速定位，360°电动回转
·三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
·测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
·支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
·支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
AFM-Piccolo
超薄测头桌面型原子力显微镜
·专利保护的扁平式光杠杆光路，探针上方和前部空间无遮挡
·测头有效厚度＜7.8mm，可适配正置型高倍物镜
·样品台闭环扫描范围100μm×100μm×15μm
·测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.04nm(适当环境)
·支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
·提供多种外设同步触发接口，可与拉曼、红外等系统集成
AFM-Tuba
超大机台原子力显微镜
·米级行程微米精度快速定位
·三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
·测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜2nm(Z向RMS)
·支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
·支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
AFM-Tuner
晶圆级计量型原子力显微镜
·低漂移龙门机架，Φ300mm样品台 ·400mm×350mm高精度快速定位，360°电动回转
·三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
·六路激光干涉实现长度计量
·测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
·支持自动换针、自动校准、可编辑Recipe自动检测
·支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
Union-WS-01
紧凑型三维白光轮廓仪
·Michelson、Mirau、Linnik三类干涉光路可选 ·独有的抗扰算法，无需专门隔振措施
·分辨力高，噪声小于0.1nm
·适用面广，可检测金属、玻璃、硅片、塑料等各类样品
·GPU加速，单点测量时间低于8s
·自研多功能图像分析软件
联系方式
邮箱：yuq@zre.com.cn
网址：https://www.frsinst.com
往届回顾
第十五届中国国际纳米技术产业博览会举办1场主报告、15场分论坛，分享前沿报告605场，同比增长约26%，以及1场创新创业大赛、3场供需对接会，汇聚了150余位国家级人才，500余位国内外高校院所、企业机构的顶级专家。展区面积25000㎡，吸引全球350余家顶尖企业与机构参展，展示全球纳米技术领域最新技术产品和创新应用2400多件。本届大会累计到场参与总人次近2.75万人次，大会规模创下历史之最，影响力攀升至新高度。
目前，纳博会已成为全球规模最大的纳米技术应用产业领域国际性展会，与日本、韩国、德国、俄罗斯等建立了常态化交流机制。每年，超300家纳米技术产业头部企业选择纳博会，这里不仅是前沿技术的展示窗口，更是企业实现资源聚合、产业协同、未来布局的战略高地。
第16届纳博会
2026年10月21-23日
苏州国际博览中心
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展览咨询
陆先生 15050142680
已参展部分企业/单位
截止到2026年6月5日
纳博会详情垂询组委会
会议组：
张女士 13862085570
中半协MEMS（微机电系统）分会：
张先生 15062459468
展览组：
陆先生 15050142680
大赛组：
张先生 13914056883
张先生 15796390461