2026年第一季度光刻系统采购分析：国产设备崛起，无掩膜光刻需求增长显著
2026年第一季度，国内多家高校、科研机构及企业共完成19台（套）光刻系统及相关设备的采购，总中标金额达6617.2万元。采购单位主要集中在教育与科研领域，所涉设备类型包括高精度光刻机、无掩膜光刻系统、电子束光刻机、步进式光刻系统，以及双光子灰度光刻系统。
从设备中标金额来看，采购结构呈现出典型的“金字塔”分布。虽然高价值、千万级别的高端设备数量不多，但其在总金额中占比较大，百万级别设备占据主流市场，而几十万元级别的教学设备则构成了基础需求。
在采购单位的地域分布上，广东省（中山大学、深圳医学科学院）、江苏省（南京大学）、云南省（昆明学院）、陕西省（西安邮电大学、西北工业大学）、宁夏（宁夏大学）以及天津市（天津大学、河北工业大学）等地均有重要采购项目落地。这一趋势表明，我国多个地区正同步推进微电子与光电子领域的研究能力提升。
在多种设备类型中，无掩膜光刻技术表现出强劲需求。该技术无需物理掩模，具有灵活的工艺流程，特别适合小批量科研试制。一季度共采购8台无掩膜光刻设备，涉及深圳医学科学院、中山大学、南京大学、华中科技大学及福建师范大学等多个项目。
另一方面，电子束光刻系统凭借其亚10纳米级别的分辨率，成为量子器件、纳米光学等前沿研究不可或缺的工具。宁夏大学以920万元采购了北京金竟的Pharos510电子束曝光系统，创下高校单台采购价格新高。
在高端市场中，国际品牌仍占据一定优势。来自德国的Heidelberg Instruments、Nanoscribe、SUSS，日本的Canon，以及英国的Durham Magneto Optics等厂商，在无掩膜光刻、双光子光刻及紫外光刻等领域保持较强的市场存在。
与此同时，国产厂商在第一季度的表现同样抢眼。合肥芯碁微装成功中标中山大学570万元的无掩膜光刻设备；安徽泽攸科技一季度共中标3台设备；中国电科四十五所以2010万元中标一台步进式光刻机。此外，成都兴林、魔技纳米、玉之泉、昊量光电、北京金竟等本土企业也均有斩获，显示出国产设备已具备覆盖教学级至产业化级、从紫外光刻到电子束光刻的完整产品链。
注：本文所列数据完全基于公开招标平台发布的信息。由于部分招标网站中标信息更新不及时或数量有限，分析结果仅供参考，可能不完全反映实际情况。